Исследование процесса восстановления моноксида кремния в плазме дугового разряда

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
Глава 2. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ПРОЦЕССА
ВОССТАНОВЛЕНИЯ МОНООКСИДА КРЕМНИЯ
Глава 3. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО СТЕНДА, МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА И ОБРАБОТКИ РЕЗУЛЬТАТОВ
3.1 Описание экспериментального стенда.
3.2 Методика обработки результатов эксперимента
Глава 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ
Глава 5. СВОЙСТВА РАЗРЯДА. МОДЕЛЬ СУБЛИМАЦИИ ЧАСТИЦ МОНООКСИДА КРЕМНИЯ В РАЗРЯДЕ.
5.1 Параметры дугового разряда.
5.1.1 ВАХ разряда и его энергетические характеристики
5.1.2 Оценка параметров канала разряда.
5.1.3 Оценка скорости нагрева газа и температуры стенки плазмотрона
5.1.4 Расчет скорости охлаждения газа в пробоотборнике.
5.1.5 Оценка времени нахождения газа в плазмотроне и доли газа,
проходящего через канал разряда
5.2 Модель течения газа в плазмотроне. Динамика течения частиц БЮ в потоке.
5.2.1 Модель течения и нагрева газа в плазмотроне
5.2.2 Динамика частиц БЮ в потоке
5.3 Модель испарения частиц монооксида кремния в плазме дугового разряда
5.3.1. Расчет тепловых и диффузионных потоков
5.3.2. Распределение тврдых частиц ЭЮ по массам.
5.3.3. Результаты расчета степени испарения частиц 8Ю в канале плазмотрона.
5.4 Эксперимент со вдувом метана в постразрядную зону
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА