Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов

1.1. Методы, модели и системы управления температурным режимом в установках выращивания кристаллов.
1.2. Синтез многосвязных систем автоматического управления
1.3. Разработка программного обеспечения для проектирования и реализации систем автоматического управления
1.4. Выводы по главе и постановка задач исследования
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ
ПРОЦЕССА УПРАВЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРНЫМ РЕЖИМОМ В УСТАНОВКАХ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ.
2.1. Требования к модели процесса управления
2.2. Разработка тепловой модели установки выращивания кристаллов.
2.2.1. Уравнение теплопроводности.
2.2.2. Выбор расчетной области. Граничные условия.
2.2.3. Конфигурация модели для нескольких стадий кристаллизации
2.2.4. Управление источником тепловыделения на подвижной фазовой границе
2.2.5. Тестирование тепловой модели.
2.3. Объединение тепловой модели установки и многомерной системы регулирования.
2.4. Отображение результатов моделирования
2.5. Выводы по главе
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ И ВЫБОР КОНСТРУКЦИИ
УСТАНОВКИ И СТРУКТУРЫ МНОГОМЕРНОГО ОБЪЕКТА УПРАВЛЕНИЯ
3.1. Требования к структуре многомерного объекта управления.
3.2. Дискретизация модели объекта с распределенными параметрами .
3.3. Определение линеаризованной модели объекта управления с сосредоточенными параметрами
3.3.1. Проведение экспериментов на тепловой модели установки выращивания кристаллов
3.3.2. Разработка программного обеспечения для идентификации объекта управления
3.3.3. Результаты идентификации.
3.4. Разработка программного обеспечения для исследования структуры многомерного объекта управления
3.5. Уменьшение взаимного влияния каналов и изменения свойств многомерного объекта управления.
3.6. Выводы по главе
ГЛАВА 4. НАСТРОЙКА РЕГУЛЯТОРОВ И ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗАДАЮЩИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ МНОГОСВЯЗНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ
4.1. Разработка программного обеспечения для настройки регуляторов многосвязной системы автоматического управления.
4.2. Методика настройки регуляторов.
4.3. Результаты настройки регуляторов для линеаризованной модели объекта управления с сосредоточенными параметрами.
4.4. Испытания регуляторов на модели процесса управления
4.5. Управление температурным режимом в зоне кристаллизации на модели процесса управления.
4.5.1. Определение задающих воздейс твий системы управления температурой в точках вокруг растущего кристалла.
4.5.2. Исследование точности управления температгрой в точках внутри зоны кристаллизации.
4.6. Выводы по главе.
ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ.
5.1. Управление аппаратным комплексом
5.2. Обработка информации.
5.2.1. Обработка и отображение результатов измерений.
5.2.2. Реализация алгоритмов автоматического управления
5.2.3. Обработка визуальной информации
5.3. Сервисные функции
5.4. Выводы по главе
ГЛАВА 6. НАТУРНЫЕ ИСПЫТАНИЯ СИСТЕМЫ
УПРАВЛЕНИЯ
6.1. Общая информация.
6.2. Испытания элементов системы управления
6.3. Иастройка регуляторов
6.4. Испытания системы управления.
6.4.1. Стабилизация температуры в зоне кристаллизации при изменении температуры окружающей среды
6.4.2. Управление температурой в зоне кристаллизации в ростовом эксперименте
6.5. Выращенные кристаллы.
6.6. Выводы по главе
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ РАБОТЫ
ЛИТЕРАТУРА