Ви є тут

Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники

Автор: 
Лосев Виталий Викторович
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
2002
Кількість сторінок: 
174
Артикул:
243643
179 грн
Додати в кошик

Вміст

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1 .Современное состояние зондовых методов исследования
и контроля поверхностей материалов и изделий
1.1 Актуальность методов зондовой микроскопии.
1.2 Принципы работы сканирующих зондовых микроскопов СЗМЛЗ
1.2.1 Сканирующая туннельная микроскопия СТМ.
1.2.2 Сканирующая атомносиловая микроскопия
1.2.3 Сканирующая близкопольная оптическая микроскопия БОМ
1.2.4 Микроскопия боковых сил МБС
1.3 Классификация методов СЗМ.
1.3.1 Режим контактного сканирования.
1.3.2 Режим полуконтактного сканирования.
1.3.3 Режим бесконтактного сканирования
1.3.4 Режим туннельного сканирования.
1.4 Основные достижения зондовой микроскопии в исследовании природной среды, контроле материалов и изделий.
Выводы к главе 1
ГЛАВА 2. Методы исследования материалов и изделий в химически
активных средах при помощи СЗМ линии V.
2.1 Исследование материалов и изделий в электрохимических
средах при помощи СЗМ.
2.1.1 Конструкция электрохимической ячейки.
2.1.2 Особенности СТМ в электролите
2.2 Управление электрохимическими процессами
Выводы к главе
ГЛАВА 3. Методы тестирования поверхностей изделий
микроэлектроники на приборах линии V.
3.1 Разработка СЗМ для исследования топологии
поверхности лазерных компактдисков.
3.1.1 Режимы работы и технические характеристики СЗМ v7.
3.1.2 Экспериментальные результаты по исследованию поверхностей материалов и изделий в производстве лазерных дисков.
3.1.3 Применение v7 в микроэлектронике.
3.2 Метод группового статистического анализа объектов
на поверхности
3.2.1 Экспериментальные результаты по исследованию
матриц дисков
Выводы к главе 3
ГЛАВА 4. Разработка емкостных методов для исследования
приповерхностных свойств изделий микроэлектроники
на СЗМ линии V
4.1 Бесконтактная емкостная методика
4.2 Разработка метода измерения емкости на основе контактного взаимодействия в системе зондповерхность.
4.3 Промышленные применения емкостных методик.
Выводы к главе 4
ГЛАВА 5. Методы и инструменты для исследования свойств поверхностей магнитных материалов на приборах линии V.
5.1 Развитие метода магнитносиловой микроскопии
для исследования поверхностей носителей информации.
5.2 Развитие микромеханических инструментов для прецизионных магнитных исследований
с помощью СЗМ.
Выводы к главе 5
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА