Вы здесь

Лазерная дифрактометрия дефекта контура микроотверстия

Автор: 
Магурин Виталий Геннадьевич
Тип работы: 
кандидатская
Год: 
2000
Количество страниц: 
189
Артикул:
233228
129 грн
(417 руб)
Добавить в корзину

Содержимое

Оглавление
Введение.
Глава 1. Моделирование дифракционной картины
методом геометрической теории дифракции.
1.1 Теория ФренеляКирхгофа
1.1.1 Интегралы Кирхгофа и РалеяЗоммерфельда
1.1.2 Дифракция Френеля и Фраунгофера.,
1.1.3 Вычисление дифракционных интегралов
1.2 Гсометрическзя теория дифракции ГТД
1.2.1 Постулаты ГТД. .
1.2.2 Формирование дифракционной картины
1.3 Структура дифракционной картины.
1.3.1 Общая структура ДК
1.3.2 Симметрия ДК.м ..
1. Тонкая струхтура ДК..
1.4 Учет влияния параметров лазерного излучения на структуру ДК в рамках ГТД.
1.4.1 Влияние распределения амплитуды в плоскости апертуры на структуру ДК
1.4.2 Влияние распределения фазы о плоскости апертуры на структуру ДК
1.4.3 Влияние когерентности падающего излучения на структуру ДК ..
Глава 2. Свойства дифракционной волны угловой точки контура апертуры
2.1 Расчет распределения интенсивности дифракционных полей плоских клиньев
в приближении Френеля
2.1.1 Дифракционный интеграл Френеля
2.1.2 Расчет дифракционных полей элементарных апертур.,
Анализ решений дифракционной задачи в приближении Френеля
для плоских прямоугольных клиньев с помощью гтдмодепей.
2.2.1 ГГДмодель дифракции на прямоугольном клине
2.2 2 Сол оставление решений в приближении Фрснеггя и ГТД для плоского клина
с обычным прямым углом .
2.2.3 Сопоставление решений в приближении Френеля и ГТД для плоского клина
С обобщенным прямым углом.
2.2.4 Определение фазового сдвига и скорости затухания дифракционной волны
угловой точки тля обычного и обобщенного прямого угла
2.2.5 Трансляционная симметрия в ДК Френеля квадрата и сектора
Г лава 3 Дифракция лазерного излучения ка тонких плоских апертурах с прямыми углами
3.1 Дифракционный интеграл Фраунгофера.
3.2 Апертуры с ломаным контуром и прямыми углями.
3.2.1 Особенности ПГДмодели для дальней зоны
3.2.2 Структура ДК апертуры с ломаным контуром и прямыми ушами
3 2.3 Определение формы прямоутольной апертуры с помощью ГТДмодсли.
3.2 Апертуры с обобщенными прямыми углами..
3.2.1 Базовый класс фитур с обобщенными прямыми углами
3.2 2 Структура ДК апертур базового класса по ГТД
Глава 4. Определение геометрических параметров микрообьекта
с помощью эталонных апертур
4.1 Локальный дефект круглой апертуры
4.1.1 Структура ДК при наличии единственного точечного дефекта
4.1.2 Определение размера точечного дефекта.
4.1.3 Структура ДК при наличии краевого дефекта с мнотоутольным контуром
4.1.4 Структура ДК при наличии краевого дефекта с гладким контуром
4.2 Определение геометрических параметров микрообъекта как локального дефекта чечевицеобразной апертуры.
4.2.1 Структура ДК при наличии точечного дефекта
4.2.2 Определение размера микродефекта чечевицеобразной апертуры
Заключение .
Приложения
1 Описание эксперимента по определению формы прямоуюльной микроапертуры.
2 Описание компьютерной программы i . иМиПни1МПнеК11МШнНМнИЫНИмИММНЛ
3 Примеры расчетов. .
Литература