Влияние технологических факторов на конструктивно-механические параметры чувствительных элементов интегральных акселерометров и датчиков давления

Введение
СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРИБОРОВ НА ИНТЕГРАЛЬНЫХ ПРИНЦИПАХ И ПРОБЛЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ТОЧ1ЮСТИ ИХ ХАРАКТЕРИСТИК. Краткий исторический очерк развития интегральных датчиков
и интегральной технологии.
Кремний как конструкционный материал
Технологические проблемы при обеспечении необходимых конструктивномеханических параметров интегральных датчиков
Выводы
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ АНИЗОТРОПНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ НА КОНСТРУКТИВНОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ
ДАТЧИКОВ.
Качественный анализ различных способов размерной обработки полупроводникового монокристаллического кремния
Исследование влияния анизотропного химического травления монокристаллического кремния на конструктивные параметры
чувствительной массы интегральных акселерометров.
Влияние анизотропного характера химического травления монокристаллического кремния на конструктивномеханические параметры упругих подвесов интегральных акселерометров .
Влияние анизотропных свойств химического травления монокристаллического полупроводникового кремния на конструктивномеханические параметры мембран интегральных датчиков давления.
Выводы.
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАК
ТОРОВ РАЗМЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НА ТОЧНОСТЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Ш ГГЕГР А ЛЬНЫ X ДАТЧИКОВ
3.1. Основные технологические погрешности при размерной обработке полупроводниковых кремниевых пластин.
3.2. Влияние неидеальности геометрии формы на конструктивно
механические параметры чувствительных элементов интегральных акселерометров и да тчиков давлений
3.3. Метод регулируемого размерного травления как способ повы
шения воспроизводимости толщины упругих подвесов чувствительных элементов интегральных датчиков.
3.4. Размерный синтез погрешностей при изготовлении чувствительных элементов интегральных датчиков.
Выводы
Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТ АЛ ЬНОСТ АТИСТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВА
НИЯ ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ВЫХОДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ДАТЧИКОВ А ИНТЕГРАЛЬНЫХ ПРИНЦИПАХ
4.1. Математическая модель технологического процесса изготовления чувствительного элемента интегрального акселерометра .
4.2. Количественная оценка вариации массы чувствительного элемента интегрального акселерометра в условиях производства
4.3. Экспериментальностатистические исследования влияния технологических операций на угловую жесткость чувствительного
элемента интегрального акселерометра
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Приложение
ЛИТЕРАТУРА