Введение
1. Обзор современного состояния проблемы изготовления автоэмиссионных источников электронов для вакуумной свсрхвысокочастотной электроники
1.1 Технологические особенности создания автоэмиссионных источников электронов. Многослойные пленочные технологии.
1.2 Многоострийные автоэмиссионные структуры на основе монолитного углеродного материала
1.3 Современные конструкции автоэмиссионных диодных и триодных структур электронных пушек для вакуумных приборов эмиссионной электроники
2 Технология получения автоэмиссионных углеродных многоострийных матриц на основе монолитного стеклоуглерода
2.1 Структура и физикомеханические свойства стеклоуглерода
2.2 Технологический маршрут изготовления многоострийной матричной монолитной структуры из стеклоуглерода
2.3 Оптимизация режимов плазмохимического
микрозаостреиия поверхности микроострийной монолитной структуры стеклоуглерода с различной плотностью упаковки в низкотемпературной кислородной плазме ВЧ разряда
2.4 Исследование поверхности микроострийной структуры
из стеклоуглерода с помощью сканирующей туннельной и растровой электронной микроскопии
2.5 Изготовление конструкции дисковых многоострийных автоэмиссионных катодов Выводы
3 Экспериментальные исследования эмиссионных свойств многоострийных автоэмиссионных катодов на основе монолитного углеродного материала
3.1 Методика экспериментальных исследований ВАХ катодов с многоострийной матричной структурой из стеклоуглерода
3.2 Экспериментальные исследования ВАХ вакуумных автоэмиссионных микродиодов с многоострийной структурой из стеклоуглерода при изменении величины межэлектродного зазора
3.2.1 Экспериментальное исследование дисковых МАЭК, в составе лучевой диодной электронной пушки
3.3 Расчет эффективной площади эмиссии для многоострийной структуры из стеклоуглерода
3.4 Экспериментальнорасчетная методика оценки величины работы выхода электронов для материала МАЭК
3.5 Исследование флуктуаций и долговременной стабильности МАЭК
4. Расчет и конструирование диодных и триодных структур электронных пушек ЛБВ с МАЭК
4.1 Обоснование выбора формы эмитирующей поверхности автоэмиссионного катода
4.2 3 Э моделирование автоэмиссионных электронных пушек
4.3 Расчет многолучевой электронной пушки на основе монолитного МАЭК в однородном магнитном поле и разработка ее конструкции
4.3.1 Анализ эмиссионных свойств АЭК с нерегулярной плотностью упаковки микроструктуры
4.4 Расчет автоэмиссионных электронных пушек с криволинейной оптикой
4.4.1 Расчет электронной пушки со сферическим АЭК
4.4.2. Расчет автоэмиссионной электронной пушки с компрессией пучка
4.5 Расчет магнетронноинжекторной автоэмиссионной электронной пушки и разработка ее конструкции Выводы
Заключение
Список использованных источников