- Киев+380960830922
Вы здесь
Введите ключевые слова для поиска диссертаций:
Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники
Тип работы:
диссертация кандидата технических наук
Год:
2006
Количество страниц:
131
Артикул:
25737 179 грн
Рекомендуемые диссертации
- Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники
- Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te
- Получение гетероструктур на основе германия и арсенида индия для термофотоэлектрических преобразователей
- Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники
- Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники
- Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом
- Получение твердых растворов GalnAsP на подложках пористого фосфида индия
- Микропрофилирование композиции SiC-AlN методом реактивного ионно-плазменного травления
- Исследование и разработка процессов термообработки полупроводниковых материалов для специального применения
- Фотопроводимость и плотность состояний в a-Si