Содержание
Список сокращений и обозначений.
Введение
Глава 1. Обзор литературы.
1.1. Методы двух и трехкристальной рентгеновской
дифрактометрии в изучении приповерхностных слоев монокристаллов
1.2. Термическая диффузия в приповерхностных слоях
монокристаллов.
1.3. Импульсное диффузионное легирование.
1.4. Структура приповерхностных слоев после ионной имплантации
и термического отжига
1.5. Постановка задачи.
Глава 2. Аппаратура, особенности ее юстировки и методика рентгенодифрактометрнческих измерений
2.1. Аппаратура и методика рентгеновских измерений.
2.2. Влияние ширины вертикальной щели после монохроматора
на двух и трехкристальные спектры
Глава 3. Термическая и лазерная диффузия бора в кремнии
3.1. Изменение структуры приповерхностных слоев кремния
после термической диффузии бора
3.2. Импульсное лазерное легирование бором монокристаллов
кремния
3.3. Выводы по главе 3.
Глава 4. Рентгенодифрактометричсскис исследования монокристаллов кремния после ионной имплантации бора
и термического отжига
4.1. Влияние изохронного отжига с температурой до 0С на структуру приповерхностных слоев имплантированных ионами бора
4.2. Изменения в имплантированных слоях в результате отжига с температурой Т 0 и С
4.3. Изменения в приповерхностных слоях при различных дозах имплантации.
4.4. Влияние отжига на структуру слоев кремния, имплантированных дозой значительно ниже порога аморфизации.
4.5. Выводы по главе 4
Заключение
Список литературы
- Київ+380960830922