СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1 ФАЗОВЫЙ ПЕРЕХОД МЕТАЛЛПОЛУПРОВОДНИК И ЯВЛЕНИЕ
ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ В ОКСИДАХ ВАНАДИЯ. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1 Фазовый переход мсталлполупроводиик в оксидах ванадия.
1.1.1 Общая характеристика проблемы фазовых переходов металлполупроводник в
соединениях 1металлов
1.1.2 Теоретические модели фазового перехода мегаллполупроводник
1.1.3 Фазовый переход металлполунроводиик в оксидах ванадия.
1.1.4 Метастабильпая аморфная фаза диоксида ванадия
1.2 Электрическое переключение.
1.2.1 Теоретические модели эффекта переключения
1.3 Переключение в структурах па основе диоксида ванадия.
1.4 Выводы из обзора литературы. Постановка задачи.
2 МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Подготовка поверхности подложек
2.2 Методика получения металлических пленок
2.3 Методика получения оксидных пленок.
2.3.1 Анодное окисление
2.3.2 Магнстронное реактивное распыление.
2.4 Электрофизические измерения
2.4.1 Измерение температурной зависимости проводимости.
2.4.2 Измерение вольтамперных характеристик и формовка
2.4.3 Измерение вольтфарадных характеристик.
2.5 Электроннолучевая модификация.
3 ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА
ВАНАДИЯ
3.1 Эффект поля в 88Ю2У структурах
3.2 Моделирование распределения поля и концентрации в диоксиде ванадия.
3.3 Эффект поля в 88Ю28зК4У сгруктурах
3.4 Электрические свойства структур 8Ю2 ГО2.
3.5 Численное моделирование электрических свойств 8Ю2ЛЮ2 структур
3.6 Обсуждение резулматов и выводы.
4 ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВАЯ МОДИФИКАЦИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ
СВОЙСТВ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК ВАНАДИЯ.
4.1 Введение.
4.2 Модификация оптических свойств.
4.3 Модификация химических свойств.
4.4 Модификация электрических свойств
4.5 Обсуждение результатов и выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922