СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
Глава I Эмиссия комплексных ионов при бомбардировке твердых тел ионами средних энергий обзор литературы.
1.1. Основные представления о механизме вторичной ионной эмиссии атомарных ионов. И
1.2. Экспериментальное исследование вторичной ионной эмиссии комплексных ионов
1.3. Теоретические модели эмиссии комплексных ионов из твердого тела
1.4. Выводы и постановказадачи
Глава 2. Объекты исследования. Техника и методика
эксспериментальных исследований
2.1. Выбор объектов исследования и способа измерения
2.2. Аппаратура вторичноионной массспектрометрии
2.3. Разработка методики достоверной регистрации комплексных фрагментов вторичной ионной эмиссии.
2.4. Контрольные измерения.
Глава 3. Экспериментальное исследование эмиссии комплексных ионов примесьматрица из кремния
3.1. Эмиссия ионов 5сп.Х при бомбардировке кремния
ионами неона
3.2. Основные закономерности эмиссии комплексных ионов примесьматрица.
3.3. Эмиссия отрицательных комплексных ионов
3.4. Выводы из результатов экспериментальных исследований. 2 Глава 4. Модель вторичной ионной эмиссии комплексных
ионо в приме сьматрица
4.1. Механизм выхода комплексных ионов вида СпХ
4.2. Факторы, влияющие на вероятность эмиссии комплексных ионов примесьматрица
4.3. Выводы из главы
Глава 5. Некоторые возможности использования
комплексных ионов во вторичноионной массспектрометрии. Ь
5.1. Использование комплексных ионов для снижения пределов обнаружения примесей. Ъ
5.2. Разработка методики анализа фазовой неоднородности
в кремнии, возникающей при легировании его примесями, методом ионной имплантации
5.3. Выводы.
Заключение
Основные результаты и выводы.
Приложение
Литература
- Київ+380960830922