СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. Литерату рный обзор.
1.1 Общая характеристика оксида цинка
1.2 Пьезоэлектрические свойства 7пО.
1.3 Методы получения ориентированных пленок 2пО
1.4 Зависимость структуры и свойств пленок , от условий получения.
1.5 Постановка задачи.
ГЛАВА И. Методика эксперимента
2.1 Техника получения пленок 7,пО магнетронным методом.
2.2 Подготовка подложек и изготовления мишеней 2пО
2.3 Методика определения ориентации и совершенства,
структуры пленок 2пО
2.4 Измерение электрических параметров образцов.
ГЛАВА III. Получение пленок 7пО на аморфных и монокри
сталлических подложках.
3.1 Зависимость совершенства структуры пленок 7,пО
от положения подложки в магнетронной системе
3.2 Влияние температуры подложки, скорости роста, давления в системе на совершенство структу ры пленок 7пО
3.3 Микроструктура пленок 7пО.
3.4 Механизм формирования высокоориентированной пленки 7п0 на аморфной поверхности
3.5 Влияние условий легирования на структуру пленок
3.6 Возможность получения гетероэпитаксиальных пленок
2п0 методом ионного распыления.
3.7 Выводы.
ГЛАВА IV. Электрические и акустические свойства пленок 7пО.
4.1 Зависимость удельного сопротивления пленок 7п0 от условий получения
4.2 Акустические свойства пьезопреобразователей на основе пленок оксида цинка.
4.3 Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922