Содержание
Глава 1.
Обзор литературы. Постановка задачи и структура диссертации.
Введение
1.1 Обзор литературы
1.2 Цель, задачи и структура диссертационной работы
Глава 2
Методика исследования и экспериментальная установка
Введение.
2.1 Зондовый метод диагностики плазмы
2.2 Установка для зондовых измеренийпараметров плазмы.
2.3 Градуировка измерительной установки
2.4 Проверка градуировки.
2.5 Зондовые измерения в магнитном поле
2.6 Погрешности измерений
2.7 Оптическая установка для измерения радиального хода интенсивности излучения
2.8 Установка для определения диаметров интерференционных колец
2.9 Установка для определения показателя преломления тонких пленок
2. Измерение температуры в газоразрядном промежутке
Глава 3
Структура магнетронного разряда постоянного тока при различных полярностях электродной системы
Введение.
3.1 Разрядный макет и условия измерения
3.2 Общее описание разряда и распределение потенциала
3.3 Группа медленных электронов
1 3.4 Функции распределения электронов с промежуточной энергией
3.5 Оценка толщины катодного слоя
Ч
Глава 4
Исследование функции распределения ионов в лрикатодной области.
Введение.
4.1 Результаты эксперимента
4.2 Движение ионов в прикатодной области и их функция распределения
4.3 Интерпретация эксперимента.
4.4 Функция распределения ионов по энергиям ФРИЭ.
4.5 Оценка средней энергии ионов, падающих на катод
Глава 5
Формирование тонких пленок в разряде в скрещенных полях
Введение.
5.1 Получение тонких пленок в разряде в скрещенных полях.
5.2 Построение модели получения тонких пленок
Заключение.
Список литературы
- Київ+380960830922