СОДЕРЖАНИЕ
ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
1.1. Общая характеристика оксида цинка
1.1.1. Структурные особенности .
1.1.2. Физикохимические свойства оксида цинка.
1.1.3. Методы получения пленок 2пО.
1.1.3.1. Магнетронное распыление
1.1.3.2. Методы кристаллизации из газовой фазы.
1.1.4. Зонная структура оксида цинка.
1.1.5. Собственные точечные дефекты в оксиде цинка.
1.1.6. Влияние примесей на электрофизические свойства 2пО
1.1.6.1. Влияние водорода на физические свойства
1.1.6.2. Получение легированных пленок типа.
1.1.6.3. Получение легированных пленок р типа
1.2. Люминесцентные свойства оксида цинка.
1.2.1. Краевая люминесценция в монокристаллах и слоях
1.2.2. Люминесценция , связанная с собственными дефектами
кристаличской решетки.
1.2.3. Влияние легирования на люминесцентные свойства слоев
1.2.4. Влияние отжига на люминесцентные свойства .
1.2.5. Сравнение фото и катодолюминесценции.
1.2.6. Применение оксида цинка.
1.3. Выводы.
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.
2.1. Экспериментальная установка для выращивания эпитаксиальных пленок оксида цинка методом химических транспортных реакций
2.2. Подготовка подложек различной природы к нанесению пленок
2.3. Определения совершенства структуры и ориентации слоев
2.4. Методика измерения электрических параметров пленок .
2.5. Методика исследования люминесцентных свойств слоев гпО
2.5.1. Методика исследования катодолюминесценции.
2.5.2. Методика измерения спектров фотолюминесценции.
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ РОСТА И ТЕРМООБРАБОТОК НА КРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ СТРУКТУРУ, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ОКСИДА ЦИНКА
3.1. Влияние условий осаждения на кристаллическую структуру,
электрические и люминесцентные свойства слоев 2пО
3.1.1. Определение температурной области ориентированного роста
слоев 7п0 на подложках сапфира А0з.
3.1.2. Изучение температурных зависимостей электрических
параметров.
3.1.3. Зависимость электрических и люминесцентных свойств слоев
от условий осаждения.
3.2. Зависимость электрических и люминесцентных свойств
нелегированных слоев 2п0 от термообработки в водороде
3.3. Выводы.
ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ УРОВНЯ ЛЕГИРОВАНИЯ АТОМАМИ ГАЛЛИЯ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ОКСИДА ЦИНКА.
4.1. Исследование удельного сопротивления и спектров
катодолюминесценции пленок 7,пО, легированных галлием
4.2. Спектры фотолюминесценции слоев 2пОСаАОз.
4.3. Сравнение спектров люминесценции при разных способах Возбуждения.
4.4. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Публикации автора по теме диссертации.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ