Изучение радиационно-стимулированного растворения диоксида кремния с помощью атомно-силового микроскопа

Содержание
Введение.
Глава 1. Особенности растворения материалов, подвергнутых радиационному облучению.
1.1. Изменение физикохимических свойств диоксида кремния после ионной имплантации
1.2. Использование атомносиловой микроскопии для изучения материалов после имплантации.
1.3. Практическое применение радиационно
стимулированного травления.
1.4. Методики определения скорости растворения тонких
пленок.
Глава 2. Методики исследования процессов растворения с помощью атомносилового микроскопа.
2.1. Конструктивные особенности атомносиловых
микроскопов и жидкостных ячеек для проведения исследования процессов растворения i i.
2.2. Подготовка образцов для проведения исследования процессов растворения с помощью атомносилового микроскопа.
2.3. Проведение исследования процессов растворения методом многократного сканирования.
2.4. Проведение исследования процессов растворения
методом однократного сканирования.
Глава 3. Применение компьютерного моделирования при изучении радиационностимулированного растворения.
3.1. Реконструкция полученных изображений с помощью метода численной деконволюции.
3.2. Создание виртуальных наноструктур и моделирование процесса их растворения.
3.3. Моделирование распределения внедренных ионов и дефектов в имплантированном слое.
Глава 4. Изучение радиационностимулированного
растворения диоксида кремния с помощью атомносилового микроскопа.
4.1. Исследования процессов растворения
имплантированного диоксида кремния.
4.2. Исследование процессов растворения
наноструктурированного диоксида кремния, полученного после имплантации ионов Ре.
4.3. Визуализация треков оставшихся после бомбардировки 9 диоксида кремния отдельными высокоэнергичными ионами.
4.4. Механизмы радиационностимулированного
растворения диоксида кремния.
Заключение.
Список публикаций автора.
Список цитируемой литературы