Особенности формирования наноразмерных кристаллических слоев кремния на сапфире

Содержание
Список сокращений
Введение.
Глава 1. Обзор литературы.
1.1. Кремний на сапфире и объемный кремний
1.2. Технологии производства слоев кремния на сапфире.
1.2.1. Метод газофазной эпитаксии.
1.2.2. Молекулярнолучевая эпитаксия
1.2.3. иТтехнология
1.3. Структура и свойства эпитаксиальных слоев кремния на
сапфире
1.3.1. Сравнение свойств кремния и сапфира
1.3.2. Модели интерфейса структуры КИС
1.3.2. Механизмы роста слоев КНС
1.3.3. Напряжения и дефекты в эпитаксиальных слоях кремния на
сапфире
Глава 2. Методика эксперимента
2.1. Получение эпитаксиальных слоев КНС.
2.2. Методы исследования структуры КНС
2.2.1. Атомносиловая микроскопия.
2.2.1.1 Влияние конволюции на АСМ изображение.
2.2.1.2. АСМ методика контроля толщины слоев кремния на
сапфире
2.2.1.3. Режим 2модуляции
2.2.2. Электронография
2.2.3. Просвечивающая электронная микроскопия.
2.2.3.1. Сканирующий режим и метод энергодисперсионпой
спектроскопии
2.2.3.2 Подготовка образцов для ПЭМ.
2.3. Выводы.
Глава 3. Молекулярнолучевая эпитаксия ультратонких
кристаллических и нанокристаллических слоев кремния на
сапфире
3.1 Влияние условий молекулярнолучевого осаждения на структуру и
свойства эпитаксиальных слоев кремния на сапфире.
3.1.1 Морфология поверхности слоев кремния на сапфире.
3.1.2 Кристаллическая структура эпитаксиальных слоев кремния на
сапфире
3.1.3 Оптимальные условия роста сплошных слоев кремния на сапфире
3.2. Нанокристаллический кремний на сапфире.
3.2.1 Начальные стадии молекулярнолучевой эпитаксии кремния на сапфире.
3.2.2 Исследование кристаллической структуры наноостровков кремния на сапфире.
3.2.3. Влияние ростовых параметров на геометрические параметры нанокристаллов кремния на сапфире.
3.2.4. Исследование наиокристаллического кремния на сапфире методом ПЭМ.
3.2.5. Исследование наиокристаллического кремния на сапфире методом ЭДС.
3.2.6. Ростовая модель молекулярнолучевой эпитаксии кремния на сапфире.
3.3. Выводы.
Глава 4. Упругие свойства слоев кремния на сапфире
4.1. Взаимодействие АСМ зонда и поверхности слоя кремния
4.2. Исследование области ступеньки кремнийсапфир в режиме Ъмодуляции АСМ
4.3. Влияние дефектов на упругие свойства слоев кремния на сапфире.
4.4. Исследование нанокристаллов кремния на сапфире в режиме Ъмодуляции АСМ
4.5. Исследование межзеренных границ на поверхности кремниевых
4.6. Выводы.
Общие выводы
Заключение
Список литературы