Гетероструктуры поликристаллический алмаз/кремний: тепловые свойства структуры и модификация кремния при осаждении алмаза

Содержание.
Введение
Глава 1. Химическое осаждение алмаза из газовой фазы.
Характеризация гетероструктур СУЭалмазкремний.
1.1. Принципы осаждения алмаза из газовой фазы.И
1.2. Плазмохимическое осаждение алмаза.
1.3. Подготовка поверхности кремниевой подложки перед
осаждением алмаза
1.4 Характеризация гетероструктуры СТалмазкремний
при помощи элекгронной микроскопии.
1.5. Рентгеноструктурный анализ пленок
1.6. Выводы.
Глава 2. Тепловые свойства структуры СУБалмазкремний. 2.1. Теоретические представления о тепловых свойствах
твердых тел фононы.
2.1.1 Теплоемкость и теплопроводность понятие фонона
2.1.2. Граничное тепловое сопротивление
2.2. Некоторые методы экспериментального определения коэффициента теплопроводности
2.2.1. Метод стационарного теплового потока
2.2.2. Лазерный флеш метод.
2.2.3. Метод определения тепловых параметров многослойных структур
2.3. Экспериментальные исследования тепловых параметров структуры СУОалмаз.
2.3.1. Предварительные измерения граничного теплового сопротивления при
комнатной температуре.
2.3.2. Тепловые параметры слоев и границ раздела в структурах кремнийна
2.3.3. Тепловое сопротивление границы в структуре кремнийнаалмазе при температуре К.
2.4. Выводы
Глава 3. Фотолюминесценция подложек кремния до и после осаждения СУЭалмазных пленок.
3.1. Введение
3.2. Краткие сведения о технике эксперимента в методике тепловых импульсов.
3.3. Отражение акустических фононов от границы кремний
СУОалмаз
3.4. Фотолюминесценция кремниевых подложек
3.5. Выводы.
Заключение.
Благодарности
Приложение.
Список публикаций по теме диссертации
Список цитируемой литературы