Ви є тут

Методы реконструкции спектров и изображений в растровой электронной микроскопии в режиме отраженных электронов

Автор: 
Кошев Николай Александрович
Тип роботи: 
Кандидатская
Рік: 
2012
Артикул:
336498
179 грн
Додати в кошик

Вміст

Содержание
Введение.
1 Обратные задачи микротомографии.
1.1 Микроскопия и микротомография в отраженных электронах
1.1.1 Краткое описание установки и метода.
1.1.2 Взаимодействие электронного зонда с веществом мишени
1.1.3 Проблематика микроскопии в отраженных электронах
1.2 Задача реконструкции изображения.
1.2.1 Латеральное плоское размытие электронного пучка под поверхностью мишени
1.2.2 Формирование изображения слоя
1.2.3 Сведение задачи реконструкции сигнала к одномерному уравнению
1.3 Восстановление спектра отраженных электронов.
1.4 Введение в постановку других задач микротомографии в отраженных электронах.
1.4.1 Исследование возможности постановки задачи фильтрации слоев .
2 Методы решения задачи реконструкции.
2.1 Операторные уравнения и уравнение типа свртки.
2.2 Одномерная задача повышения разрешения.
2.2.1 Деконволюция.
2.3 Одномерная задача реконструкции спектра
2.4 Двумерная задача.
2.4.1 Плоская деконволюция.
2.4.2 Решение на классе функций с ограниченной вариацией.
2.4.3 Адаптивная деконволюция
2.4.4 Сравнение методов
3 Описание программного комплекса.
3.1 Общее описание и структура программного комплекса.
3.1.1 Программа, реализующая решение одномерного уравнения Фред
гольма 1го рода.
3.1.2 Программа, реализующая адаптивный алгоритм решения двумер
ного интегрального уравнения Фредгольма 1го рода в пространстве
3.1.3 Программа, реализующая алгоритмы поиска решения двумерного интегрального уравнения Фредгольма 1го рода в пространствах
1Л2 и УН на равномерных сетках
3.2 Особенности численной реализации.
3.2.1 Быстрое преобразование Фурье БПФ
3.2.2 Адаптивный алгоритм структура сетки и способ ее размельчения
3.2.3 Проблема краевого эффекта.
3.3 Применение описанных алгоритмов для решения других интегральных уравнений Фредгольма 1го рода.
3.3.1 Восстановление дефокусированных фотографий
3.3.2 Задача диффузии.
Заключение
Список литературы