Ви є тут

Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС

Автор: 

Рыбачек Елена Николаевна

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1998

Артикул:

1000197142

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Тонкопленочные структуры молибден-медь с эффектом близости и сверхпроводниковым переходом для сверхчувствительных субмиллиметровых болометров
• Импедансные фильтры на поверхностных акустических волнах с веерными преобразователями
• Исследование планарных полупроводниковых структур методами линейного и нелинейного отражения света
• Электрофизические свойства и природа локализованных состояний в гетеропереходах на основе a-Si: H и его сплавов
• Перенос электронов в транзисторных структурах в сильных резконеоднородных электрических полях при воздействии потока квантов высоких энергий
• Приборы с зарядовой связью со встроенной обработкой сигналов
• Закономерности релаксации упругих напряжений и диффузия в псевдоморфных SiGe/Si структурах
• Численное исследование коллективных процессов в микроэлектронных структурах и оптимизация приборов больших интегральных схем
• Зависимости электрических параметров нано-МОП транзисторов со структурой КНИ от конструктивных и технологических факторов
• Электрофизические свойства и природа локализованных состояний в гетеропереходах на основе a-Si