Ви є тут

Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС

Автор: 

Рыбачек Елена Николаевна

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1998

Артикул:

1000197142

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Структурно-логические и схемотехнические методы повышения энергоэффективности СБИС для носимых приемопередатчиков с кодовым разделением канала
• Приборы с зарядовой связью со встроенной обработкой сигналов
• Исследования однонаправленных и слабоаподизованных встречно-штыревых преобразователей поверхностных акустических волн и разработка устройств частотной селекции на их основе
• Идентификация фаз в системах Ba-Bi-O и K-Ba-Bi-O методами просвечивающей электронной микроскопии
• Моделирование и расчет функциональных характеристик элементов энергонезависимой памяти с фазовыми переходами
• Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами
• Рентгенодифракционное исследование приповерхностных слоев кремния и гетероструктур A III B V с градиентом деформации
• Исследование и разработка GaAs СВЧ транзисторов, переключательных и ограничительных диодов и интегральных схем для модулей АФАР
• Исследование и создание гибридно-монолитных СВЧ - генераторов и преобразователей частоты на универсальных активных GaAs МИС в диапазоне частот 1...18 ГГЦ
• Локальная диагностика объектов микро-, нано- и оптоэлектроники в вакууме, газе и жидкости методами сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии