СОДЕРЖАНИЕ
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР И АВТОМАТИЗАЦИЯ ИЗМЕРЕНИЙ
1.1. ПРОИЗВОДСТВО ИМС И ЭТАПЫ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
1.2. ЭТАПЫ АВТОМАТИЗАЦИИ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
1.2.1. Автоматизация без использования ЭВМ
1.2.2. Автоматизация с использованием ЭВМ для обработки информации
1.2.3. Автоматизация с использованием ЭВМ для управления и обработки информации
1.2.4. Цифровые интерфейсы вводавывода
1.2.4.1. Интерфейсы КАМАК, МУЛЬТИБАС, ФАСТБАС
1.2.4.2. Современные интерфейсы вводавывода 1БА, РС1, Ы8В
1.2.5. Автоматизация измерений на базе программного пакета ЬаЬУ1ЕУ
1.3. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР
1.3.1. Метод вольт амперных характеристик
1.3.2. Методы вольтфарадных характеристик
1.3.3. Метод вольт сименсных характеристик
1.3.4. Метод фото ЭДС
1.3.5. Метод нестационарной спектроскопии глубоких уровней
1.3.6. Метод релаксационной оптоэлектронной спектроскопии глубоких уровней
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 1
ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ МЕТОДОВ ДЛЯ АВТОМАТИЗАЦИИ ИССЛЕДОВАНИЯ МДПСТРУКТУР
2.1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА, ПРОТЕКАЮЩЕГО ЧЕРЕЗ ПОЛУПРОВОДНИКОВУЮ СТРУКТУРУ
2.2. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ЕМКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ СТРУТУРЫ
2.2.1. Мостовые схемы
2.2.2. Схемы делителей напряжения
2.2.3. Схема дифференциатора
2.2.3.1. Теоретическое рассмотрение
2.2.3.2. Экспериментальное исследование схемы
2.2.3.3. Оценка случайной погрешности метода
2.3. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗНОСТИ ФАЗ
2.3.1. Безынерционные методы
2.3.1.1. Метод линейной развертки
2.3.1.2. Метод круговой развертки
2.3.1.3. Метод фигур Лиссажу
2.3.2. Инерционные методы
2.3.2.1. Фазовый детектор
2.3.2.2. Метод электронного реле
2.3.2.3. Метод трех амплитуд
2.4. ВЫБОР СХЕМЫ ДЛЯ АВТОМАТИЗАЦИИ ИЗМЕРЕНИЯ ВФХ
2.4.1. Анализ методики измерения
2.4.1.1. Определение параметров схемы замещения
2.4.1.2. Определение составляющих импеданса
2.4.2. Схема подачи напряжения
2.5. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ФЭДС ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ СТРУТУРЫ
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 2
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТАННЫЕ ПРИБОРЫ ДЛЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ МДПСТРУКТУР
3.1. АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ВФХ 1
3.1.1. Блок преобразования емкости в напряжение
3.1.2. Блок аналого цифрового преобразования
3.1.3. Блок цифро аналогового преобразования
3.1.4. Блок вводавывода
3.1.5. Программа автоматизированного управления ВФХ 1
3.1.6. Технические характеристики ВФХ1
3.2. АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ВФХ 2
3.2.1. Блок преобразования емкости в напряжение
3.2.2. Блок вводавывода
3.2.3. Программа управления экспериментом
3.2.4. Технические характеристики ВФХ2
3.3. АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС МЕТРОНОМ
3.3.1. Структурная схема автоматизированного комплекса
3.3.2. Схема блока преобразования параметров
3.3.2.1. Генератор тестового сигнала
3.3.2.2. Модуль автоматизированного измерения ВФХ
3.3.2.3. Модуль автоматизированного измерения ВАХ
3.3.2.4. Модуль автоматизированного измерения ФЭДС
3.3.2.5. Модуль коммутации аналогового сигнала ИЗ
3.3.2.6. Меры повышения точности измерений
3.3.3. Цифровой блок
3.3.4. Программное обеспечение комплекса
3.3.4.1. Функции iI для управления комплексом
3.3.4.2. Многопоточность
3.3.4.3. Пользовательский интерфейс
3.3.5. Технические характеристики автоматизированного измерительного комплекса МЕТРОНОМ
3.4. СРАВНЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК РАЗРАБОТАННОГО АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО КОМПЛЕКСА МЕТРОНОМ С АНАЛОГАМИ
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3
ГЛАВА4. ИЗМЕРЕНИЯ НА РАЗРАБОТАННЫХ
АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ПРИБОРАХ
4.1. ИЗМЕРЕНИЯ НА АВТОМАТИЗИРОВАННОМ ИЗМЕРИТЕЛЕ ВФХ2
4.2. ИЗМЕРЕНИЯ НА АВТОМАТИЗИРОВАННОМ КОПМЛЕКСЕ МЕТРОНОМ
4.2.1. Измерение ВАХ полупроводниковых структур
4.2.1.1. Измерение ВАХ рп переходов
4.2.1.2. Измерение ВАХ кремниевых МДПструктур
4.2.1.3. Измерение ВАХ пробитых кремниевых МДГструктур
4.2.2. Обсуждение результатов измерений
4.2.3. Измерение ВФХ полупроводниковых структур
4.2.3.1. Измерение ВФХ кремниевых МДПструктур
4.2.3.2. Влияние поляризации МДП структур на их параметры
4.2.3.3. Влияние засветки МДП структур на их параметры
4.2.3.4. Комбинированное воздействие
4.2.4. Обсуждение результатов
4.2.5. Автоматический расчет параметров по методу Термана
4.2.5.1. МетодГермана
4.2.5.2. Расчет теоретической высокочастотной ВФХ
4.2.5.3. Описание программы расчета спектра плотности поверхностных состяний
4.2.6. Обсуждение результатов
4.2.7. Результаты измерения спектра ППС МДПструктур
4.2.8. Обсуждение результатов измерений
4.2.9. Измерение ФЭДС МДПструктур и фотодиодов
4.2.9.1. Полевые зависимости ФЭДС кремниевых структур
4.2.9.2. Частотные зависимости ФЭДС кремниевых МДПструктур
4.2.9.3. ФЭДС в поляризованных МДПструктурах
4.2 Обсуждение результатов измерения
4.3. ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ИССЛЕДУЕМОЙ МДПСТРУКТУРЫ В СОСТАВЕ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922