Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1. АНАЛИЗ ПОДХОДОВ К ФОРМИРОВАНИЮ СТРУКТУРЫ МОДУЛЬНОКЛАСТЕРНЫХ КОМПЛЕКСОВ РЕАЛИЗАЦИИ ТЕХНОЛОГИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ
1.1 Особенности технологического процесса фотолитографии
1.2 Специфика кластерной компоновки роботизированных комплексов в электронной промышленности
1.3 Математические модели модульнокластерных комплексов фотолитографии
1.4 Цели работы и задачи исследования
2. МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ КОМПЛЕКСОМ ФОТОЛИТОГРАФИИ
2.1 Структурная модель системы управления технологическим модулем
2.2 Математическая модель системы управления механизмом перемещения в составе РТК
2.3 Математическая модель манипулятора с учетом динамики исполнительных приводов
2.4 Критерии планирования траектории движения схвата робота и анализ области практической устойчивости робототехнической системы
3. АЛГОРИТМИЗАЦИЯ УПРАВЛЕНИЯ КОМПЛЕКСОМ ФОТОЛИТОГРАФИИ
3.1 Алгоритмы управления роботом в составе
комплекса фотолитографии
3.2 Алгоритмы управления технологическими модулями
3.3 Критерии выбора элементов системы управления
Выводы
4. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ МОДЕЛЕЙ И АЛГОРИТМОВ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ КОМПЛЕКСОМ ФОТОЛИТОГРАФИИ
4.1 Исследование системы управления комплексом фотолитографии
4.2 Математическое моделирование программных траекторий движения робота с учетом динамики исполнительных приводов роботаперегрузчика
4.3 Структура системы управления кластером фотолитографии Лада0Кфл
Заключение
Список литературы