СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1 АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ ОБЛАСТИ ИССЛЕДОВАНИЯ.
1.1 Методы осаждения покрытий в вакууме.
1.2 Автоматизированные системы
1.2.1 Классификация автоматизированных систем.
1.2.2 Автоматизированная система контроля толщины покрытий, наносимых
в вакууме.
1.3 Методы контроля толщины и скорости осаждения покрытий в вакууме
1.3.1 Весовой метод.
1.3.2 Метод кварцевого резонатора.
1.3.3 Фотометрический метод.
1.3.4 Эллипсометрический метод
1.3.5 Резистивный метод.
1.3.6 Вибрационный метод
1.3.7 Ионизационный метод.
1.3.8 Метод электронноэмиссионной спектроскопии
1.3.9 Комбинированные методы
1.4 Современный уровень автоматизации оперативного технологического контроля процесса осаждения покрытий в вакууме
1.5 Выводы и постановка задач исследований
2 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ КАМЕРТОННОГО ДАТЧИКА ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ
2.1 Камертонные частотные датчики.
2.2 Камертонные осцилляторы.
2.3 Камертонный датчик толщины покрытий, наносимых в вакууме
2.3.1 Конструкция камертонного датчика
2.3.2 Математическая модель камертонного датчика.
2.3.3 Чувствительность камертонного датчика
2.3.4 Добротность камертонного датчика.
2.3.5 Погрешность камертонного датчика.
2.4 Камертонные генераторы.
2.5 Выводы.
3 РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ.
3.1 Разработка аппаратного обеспечения автоматизированной системы контроля толщины покрытий.
3.1.1 Анализ возможных путей реализации устройства сопряжения
3.1.2 Связь устройства сопряжения с персональным компьютером.
3.1.3 Измерение периода колебаний камертонного датчика толщины покрытий.
3.1.4 Контроль температуры контрольного образца
3.1.5 Контроль состояния вакуума в рабочей камере установки вакуумного напыления.
3.1.6 Управление заслонкой
3.2 Разработка программного обеспечения автоматизированной системы контроля толщины покрытий
3.3 Выводы
4 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КАМЕРТОННОГО ДАТЧИКА И АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ.
4.1 Автоматизированная система контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика
4.1.1 Камертонный датчик толщины покрытий, наносимых в вакууме.
4.1.2 Устройство сопряжения.
4.1.3 Блок нагрева силовой
4.1.4 Программное обеспечение автоматизированной системы контроля толщины покрытий
4.2 Метрологическое обеспечение и испытания автоматизированной системы контроля толщины покрытий на базе камертонного датчика.
4.3 Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922