СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава1. Современные методы математического моделирования при
оптическомизмерении микрогеометрии поверхности
1.1. Обзор . современных. . методов оптического измерения микрорельефа
1.2. Особенности строения и функционирования оптического
микроскопа
1.3. Использование глубины резкости объектива для определения высотных характеристик поверхности .
1.4. Эмпирическая оценка точности определения высоты оптической
системыу у У ч
1.5 Выводы но главе. Цели и задачи диссертационной работы
Глава 2. Математическая модель процесса реконструкции и
измерения микрорельефа поверхности интерпретацией
сфокусированности набора изображений
2.1 Структура процесса реконструкции микрорельефа поверхности
2.2 Математическая модель определения резкости изображений.
2.3 Построение морфометрической карты высоты на основе модели анализа резкости
2.4 Алгоритм позиционирования точек реконструируемой поверхности
2.5 Анализ точности определения высоты точек образующих базовую поверхность
2.6 Применение фильтрации для компенсации зашумлнности полученных результатов
2.7 Выводы по главе
Глава 3. Разработка системы моделирования рельефа поверхности
путм послойного сканирования с фокусировкой на различные
области V. У
З.Г Структура и функциональные требования задачи реконструкции . микрогеометрии поверхности.
.
. 3 .
3.2 Модуль . инициализации исходных данных и настройки параметров реконструкции поверхности
3.3 Модуль анализа результатов реконст рукции поверхности
3.4 Модуль визуализации и построения трхмерной модели . поверхности в форматах и .
. 3.5 Описание принципов функционирования модулей входящихв программный комплекс i i 3
3.6 Выводы по главе .
Глава 4. Исследование возможности применения разработанных
моделей и алгоритмов для решения практических задач
4.1 Результаты . экспериментальной проверки . комплекса реконструкции микрогеометрии поверхности
4.2 Сравнительный анализ . функциональных характеристик программного комплекса с существующими аналогами
4.3 Исследование области применения программного комплекса
4.4 Экономический эффект при внедрении программного комплекса
4.5 .Выводы но главе . г
Заключение . . . 2
Литература