Исследование контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и его применение в источниках ионов

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение . .б
Глава Г. Особенности генерации заряженных частиц
в газовых разрядах низкого давления, перспективных для ионных источников технологического назначения . V V .ц . . II
1.1. Пути повышения эффективности генерации
заряженных частиц при низких давлениях V II
1.1.1. Разряд в поперечном магнитном поле . .
1Д.2. Свойства контра гированно го разряда . .
1.1.3. Разряд с термокатодом,контрагированный
кольцевой щелью с радиальным магнитным полем в ней V .
1.2. Газоразрядные источники интенсивных ионных пучков на основе рассмотренных разрядов V
Г.2.Г. Плазменные ускорители с замкнутым
дрейфом электронов V V . .
Г.2.2. Луоплазматрон и дуопигатрон
1.2.3. Источник ионов на основе разряда с
термокатодом, контрагированного кольцевой щелью с радиальным магнитным полем
в ней.
Г.2.4 Источник ионов с замкнутым дрейфом
электронов в ускоряющем промежутке .
Глава 2 Исследование контрагированного разряда
с замкнутым дрейфом электронов
21 Исследование перехода к самостоя
тельному режиму контрагарованного разряда с замкнутым дрейфом электронов .
22 Структура разряда,1 контра гированно го в
скрещенных электрическом и магнитном полях с холодным полым катодом V . V .
2.2.1. Техника эксперимента 1.
2.2.2. Результаты экспериментов
2.2.3 Обсуждение экспериментальных результатов .
2.3. Механизм генерации заряженных частиц в
разряде, контратированном в скрещенных полях, с холодным катодом V
2.4 Свойства разряда с холодным полым
катодом как эмиттера ионов
Выводы.
Глава З1. Расчетная модель разряда, контрагаро
ванного в скрещенных электрическом и магнитном полях, с холодным полым катодом
3.1. Расчетные соотношения .
3.2. Определение коэффициентов .
3.3 Расчет внешних характеристик разряда
и их сравнение с экспериментом . . .
Выводы .
Глава 4. Проектирование эмиттера для источников ионов на основе разряда с холодным полым катодом контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях . .
4.1. 1Ъсчет геометрии электродов разрядной
камеры .
4 Л Д. Размеры катодной полости и системы
извлечения.
4Д.2. Геометрия контрагирующей щели . 1
4.2. Методика иняенерного расчета источника ионов на основе разряда,1 контрагированного в скрещенных полях, с холодным полым катодом V.V
Выводы V.
Глава 5. Источники ионов на основе контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и их применение для технологических операций в вакууме . V . . .
5.Источник ионов на основе разряда с
холодным полым катодом, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях.
5.1 Д. Конструкция источника ионов . . . .
5.1.2. Принцип действия и характеристики
источника ионов
5.2. Источник ионов на основе разряда с термокатодом, контрагарованного в
скрещенных полях.
5.2.1. Источник ионов инертных газов . v
5.2.2. Источник ионов металлов .
5.3. Рекомендации по применению разработанных источников ионов . .
Выволыv .
Заключение
Литература