Содержание
ВВЕДЕНИЕ
1 Широкополосные элементы рентгеновской оптики
1.1 Эффект шепчущей галереи.
1.1.1 Эффект полного внешнего отражения рентгеновского излучения
1.1.2 Краткий исторический обзор
1.1.3 Эффект шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне.
1.1.4 Применение эффекта шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне
1.2 Многофасеточные зеркала
1.3 Рентгеновские волноводы.
1.3.1 Рентгеновские монокапилляры.
1.3.2 Капиллярные оптические системы .
1.3.3 Планарные рентгеновские волноводы
1.4 Градиентные многослойные зеркала
1.4.1 Теоретические и экспериментальные исследования
1.4.2 Возможные области применения градиентных зеркал
2 Зеркала шепчущей галереи в рентгеновском диапазоне
2.1 Эффективность транспортировки рентгеновского излучения
2.2 Пространственное и угловое распределение интенсивности рентгеновского излучения
2.3 Анализ экспериментальных результатов по повороту МР пучка
2.3.1 Эксперимент по повороту МР излучения точечного источника
2.3.2 Эксперимент по повороту пучка СИ.
2.4 Выводы
3 Физический анализ оптической схемы вертикального канала СИ для теневой рентгеновской литографии
3.1 Поворот пучка СИ в вертикальную плоскость.
3.2 Коллиматор равномерной засветки пластины
3.3 Расходимость рентгеновского излучения вдоль поверхности маски . Бб
3.4 Оптимальный коллиматор для широкополосного пучка СИ.
3.5 Выводы
4 Применение эффекта шепчущей галереи для контроля шероховатостей вогнутых поверхностей
4.1 Компьютерное моделирование
4.2 Обсуждение результатов компьютерного эксперимента.
4.3 Эксперимент по исследованию шероховатостей на вогнутой поверхности
и компьютерное моделирование
4.4 Выводы.
5 Градиентные многослойные зеркала с широкой спектральной полосой отражения
5.1 Коэффициент отражения рентгеновского излучения от многослойных
зеркал с изменяющимся периодом
5.2 Обратная задача в теории градиентных многослойных зеркал рентге
повскрго диапазона
5.3 Оптимизация широкополосных многослойных зеркал для каналов син
хротронного излучения.
5.4 Выводы.
Основные результаты и выводы
Библиография
- Київ+380960830922