ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ С ЗАРЯДОВОЙ СВЯЗЬЮ
обзор литературы.
1.1. Введение
1.2. ПЗС с поверхностным и объмным скрытым каналом.И
1.3. Линейные ФПЗС формирователи изображения.
1.4. Особенности технологии линейных ФПЗС с объмным каналом.
требования к кремнию
1.5. Обзор конструктивных и технологических решений при создании
линейных ФПЗС с объмным каналом обзор статей и патентов.
1.6. Применение ФПЗС потребительские и специализированные системы
на основе ФПЗС
1.7. Выводы но главе 1.
Глава 2. ВЫБОР АРХИТЕКТУРЫ И ПРИНЦИПЫ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ЛФПЗС.
2.1. Принцип работы и общее описание приборов
2.2. Линейные ФПЗС с фотодиодным накопителем, выполненные по схеме билинейного считывания с раздельными выходами
2.3. Линейные ФПЗС, выполненные по однорегистровой схеме
с одним выходом
2.4. Линейные ФПЗС, выполненные по схеме билинейного считывания
с одним выходом
2.5. Выводы по главе 2.
Глава 3. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ЛФПЗС
3.1. Введение
3.2. Цели оптимизации и оптимизируемые параметры.
3.3. Алгоритм оптимизации
3.4. Начальные этапы моделирования.
3.5. Результаты моделирования
3.6. Моделирование выходного устройства
3.7. Топологическое проектирование.
3.8. Частотноконтрастные и спектральные характеристики
39. Выводы по главе 3
Глава 4. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ФПЗС
4.1. Технология ЛФПЗС с поверхностным каналом.
4.2. Технология ЛФПЗС с объмным каналом
4.3. Пооперационный технологический маршрут.
4.4. Исследование влияния на качество внутреннего геттера формирующих
его последовательностей отжигов и содержания кислорода в кремнии
4.5. Выводы по главе 4
Глава 5. ПАРАМЕТРЫ И ПРИМЕНЕНИЕ ЛФПЗС.
5.1. Параметры и характеристики приборов ФПЗСЛ и ФПЗСЛ
5.2. Параметры и характеристики приборов ФПЗСЛ и ФПЗСЛ.
5.3. Параметры и характеристики приборов А, А, А и А.
5.4. Применение ЛФПЗС
5.5. Выводы по главе 5.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922