Электрофизические и газочувствительные свойства нанокристаллических пленок-композитов на основе диоксида олова

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. СОВРЕМЕННЫЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ О МЕХАНИЗМАХ
ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ И ГАЗОВОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.1. Кристаллическая решетка диоксида олова, е строение. Характеры стика диоксида олова как сенсорного материала
1.2. Взаимодействие молекул газов с поверхностью металлооксидных полупроводников
1.3. Модели токопереноса и газовой чувствительности в металлооксид ных полупроводниках
1.3.1. Электрическая модель
1.3.2. Барьерная модель
1.3.3. Модели газовой чувствительности
1.4. Влияние микроструктуры пленок на их газовую чувствительность
1.5. Влияние легирования на газовую чувствительность пленок
Выводы к первой главе
Глава 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1. Способы изготовления пленоккомпозитов на основе металлоок сидных полупроводников
2.1.1. Метод ионнолучевого распыления
2.1.2. Метод магнетронного распыления
2.2. Измерение основных параметров пленоккомпозитов на основе ди оксида олова
2.2.1. Измерение толщины пленок диоксида олова
2.2.2. Измерение удельного сопротивления
2.2.3. Температурные зависимости электрических параметров пленок диоксида олова, измеренные с помощью эффекта Холла
2.2.4. Методика измерения газовой чувствительности пленок 8п
2.2.5. Исследование оптических свойств пленоккомпозитов
2.3. Методы исследования структуры металлооксидных композитов
2.3.1. Рентгеновский микроанализ
2.3.2. Дифракционная электронная микроскопия
2.3.3. Исследование морфологии пленоккомпозитов
Выводы ко второй главе
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА НА ЭЛЕКТРОФИ
ЗИЧЕСКИЕ И ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОККОМПОЗИТОВ
3.1. Основные параметры пленоккомпозитов на основе 8пОг
3.1.1. Состав пленоккомпозитов на основе диоксида олова
3.1.2. Термостабилизация пленоккомпозитов на основе диоксида олова
3.1.3. Морфология поверхности пленоккомпозитов на основе БпСЬ
3.2. Электрофизические и газочувствительные свойства пленок
композитов на основе диоксида олова
3.2.1. Элекгрофизические свойства пленоккомпозитов на основе диоксида олова
3.2.2. Газовая чувствительность пленоккомпозитов на основе диоксида олова
3.3. Оптические свойства пленоккомпозитов на основе диоксида олова
Выводы к третьей главе
Основные выводы и результаты
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ