Получение и исследование свойств наноразмерных пленочных структур на основе аморфного кремния и его соединений

Содержание
Введение
1. Синтез и применение наноразмерных структур на основе аморфных полупроводников
1.1. Методы синтеза наноразмерных структур.
1.2. Формирование наноразмерных структур на монокристалличсских подложках и их применение в электронике.
1.3. Особенности аморфных полупроводников и их применение в электронике
1.4. Выводы и постановка задачи
2. Исследование влияния технологических параметров на условия СВЧ
вакуумноплазменной обработки
2.1. Влияние геометрии реактора на равномерность и энергетическую эффективность СВЧ ВПО гидродинамическое приближение
2.2. Распространение электромагнитных волн в волноводе установки СВЧ ВПО с продольно намагниченной плазмой
2.3. Циклотронное поглощение электромагнитных волн в плазме с магнитным полем
2.4. Скорость и равномерность СВЧ ВПО
2.5. Экспериментальные исследования равномерности и производительности СВЧ ВПО с ЭЦР
2.6. Результаты экспериментальных исследований.
2.7. Анализ экспериментальных данных.
2.8. Выводы
3. Исследование формирования нанокластеров на аморфных поверхностях
с различной энергией связи на межфазной границе
3.1. Формирование тонких пленок
3.2. Исследование зависимости средней высоты нанокластеров кремния от времени осаждения на подложку со слабой энергией связи.
3.3. Исследование зависимости средней высоты микровыступов и их концентрации от количества циклов осаждения
3.4. Влияние температуры на формирование кремниевых нанокристаллитов па некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления.
3.5. Исследование зависимости средней высоты нанокластеров от времени осаждения на подложку с сильной связью на межфазной границе.
3.6. Исследование зависимости средней высоты кластеров от времени осаждения на аморфный вЮ различного стехиометрического состава
3.6. Выводы
4. Получение и исследование пленок аморфного кремния и его соединений
4.1. Рентгсиоструктурный анализ и ИКспектроскоиия пленки кремния.
4.2. Получение и исследование пленок аморфного кремния
4.3. Проводимость в пленках аморфного кремния.
4.4. Получение и исследование пленок аморфного карбида и нитрида кремния различного стехиометрического состава
4.5. Выводы.
5. Получение и исследование слоистых структур на основе нанокластеров
кремния в матрице аморфного карбида кремния
5.1. Исследование статических ВАХ слоистых структур на основе аморфного 8о,гСо.8 и нанокластеров кремния.
5.2. Исследование динамических характеристик слоистых структур.
5.3. Исследование спектральных характеристик слоистых структу р
5.4. Выводы
Заключение
Литература