Пассивные и активные мембраны для устройств микросистемной техники

ОГЛАВЛЕНИЕ
Глава 1. Мембранные элементы микромеханических систем конструкции и материалы
1.1. Мембранные элементы в устройствах микромеханики.
1.1.1. Формы мембран однослойные, многослойные, гофрированные, перфорированные.
1.1.2. Пассивные и активные мембраны.
1.2. Материалы, применяемые в конструкциях сенсоров и актюаторов мембранного типа.
1.2.1. Кремний.
1.2.2. Оксид и нитрид кремния
1.2.3. Нитрид алюминия и карбид кремния
1.3. Конструкции микромеханических датчиков и актюаторов мембранного типа.
1.3.1. Микродатчики повышенного и пониженного давления.
1.3.2. Акустические микродатчики.
1.3.3. Актюаторы на основе активных мембран
Глава 2. Особенности технологии базовых материалов для микромеханических мембран
2.1. Осаждение слоев нитрида кремния.
2.2. Осаждение слоев нитрида алюминия и карбида кремния
2.3. Анализ механических напряжений в слоях для микромеханических
преобразователей
Глава 3. Управление механическими напряжениями в мембранных слоевых структурах.
3.1. Методы измерения и расчета встроенных механических напряжений в слоях и слоевых композициях
3.1.1. Расчет напряженнодеформированного состояния пластин и мембран
3.1.2. Анализ работы акустического преобразователя.
3.1.3. Экспериментальная установка для исследования прогиба мембран в зависимости от внешних воздействий
3.1.4. Экспериментальные исследования влияния параметров процесса осаждения слоев на их механические свойства.
3.1.5. Исследование внутренних механических напряжений в слоях нитрида
алюминия в составе структур
3.2. Способы управления механическими напряжениями в мембранных слоевых структурах
3.2.1. Компенсация механических напряжений в двухслойных структурах
3.2.2. Релаксация механических напряжений в конструкциях с гофрированной мембраной.
3.2.3. Технология изготовления чувствительного.
элемента акустического датчика на основе гофрированных мембран.
3.2.4. Технология изготовления микроэлектромеханического пьезоэлектрического преобразователя на основе нитрида алюминия.
3.2.5. Активное управление механическими напряжениями в
микромеханических структурах с пьезоэлектрическим слоем
Глава 4. Микромеханические преобразователи на основе пассивных и активных мембран
4.1. Акустический микрооптомеханический датчик на основе гофрированной мембраны.
4.2. Пьезоэлектрический микроактюатор мембранного типа на основе композиции слоев нитрида кремния и нитрида алюминия
4.2.1. Конструкция микроэлектромеханического пьезоэлектрического актюатора на основе нитрида алюминия.
4.2.2. Статические и динамические характеристики пьезоэлектрического
микроэлектромеханического актюатора
Заключение.
Литература