Оглавление
Введение
Глава I. Ионный синтез скрытых диэлектрических слов в кремнии.
1.1 Экспериментальное создание скрытых диэлектрических слов
1.1.1 Синтез скрытых слов с использованием имплантации кислорода
1.1.2 Синтез скрытых слов с использованием имплантации азота
1.1.3 Синтез скрытых слов с использованием комбинированной имплантации азота и кислорода
1.2 Моделирование синтеза диэлектрического слоя для двойных систем на основе зародышеобразования
1.3 Теоретические модели синтеза скрытого слоя для тройных систем
1.4 Теория фазовых переходов Гинзбурга Ландау
1. 5 Выводы по главе I
Глава II. Обоснование применяемых методов исследования
2.1 Постановка задачи
2.2 Методы оценки параметров
2.3 Методы численного решения уравнений
2.4 Выводы по главе II Глава III. Моделирование синтеза скрытых слов диоксида кремния
3.1 Редукция числа переменных.
3.2 Построение функции плотности свободной энергии Гиббса
системы 0
3.3 Определение параметров функции плотности свободной
энергии Гиббса системы О
3.4 Моделирование динамики системы Опри термообработке. Концентрационная зависимость
3.5 Моделирование динамики системы Опри термообработке. Температурная зависимость
3.6 Выводы по главе III
Глава IV. Моделирование процесса массоиереноса, при высокотемпературной термообработке, в системе ЗОВ
4.1 Определение параметров функции плотности свободной энергии системы З О В
4.2 Моделирование динамики системы ЗО В при термообработке. Концентрационная зависимость
4.3 Моделирование динамики системы ЗОВ при термообработке. Температурная зависимость
4.4 Выводы по главе IV
Глава V. Моделирование процесса массопереноса, при высокотемпературной термообработке, в системе 50 Р
5.1 Определение параметров функции плотности свободной энергии системы ЗОР
5.2 Моделирование динамики системы З0Р при термообработке. Концентрационная зависимость
5.3 Моделирование динамики системы З0Р при термообработке. Температурная зависимость
5.4 Сравнение результатов моделирования динамики систем ЗОВ З0Р
5.5 Выводы по главе V Основные результаты и выводы
Литература
- Київ+380960830922