Формирование электронных нанообъектов на основе модифицированных углеродных структур

СОДЕРЖАНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ4
1. ОБЗОРНОАНАЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ НАНООБЪЕКТОВ В ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ.
1.1. Основная задача и состояние работ в области формирования электронных нанообъектов на основе модифицированных структур
1.2. Физические аспекты формирования
наноструктур
1.3. Технологические особенности получения тонких алмазоподобных пленок
1.4. Формирование электронных нанообъектов фрактального
Постановка задачи исследований.
2. ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ НАНООБЪЕКТОВ НА ОСНОВЕ МОДИФИЦИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР ,
2.1. Термодинамика образования зародышей наноструктур.
2.2. Термодинамика поверхностных наноструктур
2.3. Корпускулярноволновые аспекты полевого взаимодействия в кристаллах.
2.4. Способы получения атомарно чистой поверхности и оценка скорости адсорбции
2.5. Распределение наночастиц по возможным энергетическим состояниям
статистика МаксвеллаБольцмана и распределение ФермиДирака
Выводы по главе 2
3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ НАНООБЪЕКТОВ НА ОСНОВЕ МОДИФИЦИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР.
3.1. Экспериментальное оборудование и методика формирования нанообъектов.
3.2. Результаты экспериментальных исследований.
3.3. Сравнительный анализ полученных результатов
Выводы по главе 3.
4. РАЗРАБОТКА ПЕРСПЕКТИВНЫХ СПОСОБОВ И УСТРОЙСТВ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ НАНООБЪЕКТОВ НА ОСНОВЕ МОДИФИЦИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР.
4.1. Технологическое устройство для наноперемещения изделий.
4.2. Устройство для регистрации отклонения острия зонда.
4.3. Устройство перемещения для нанотехнологий
4.4. Устройство для получения наноструктур на подложке
Выводы по главе 4.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА