Конструкция, технология и теплофизические свойства кристаллов датчиков газов в микроэлектронном исполнении

Содержание
ф Введение
Глава 1 Твердотельные датчики газов
1.1 Влияние адсорбции газов на электрические свойств широкозонного полупроводника БпОг
1.2 Физические свойства пленок металлооксидных
полупроводников, типа диоксида олова, оксида цинка и методы их получения, ф 1.3 Конструкция толстопленочных датчиков газов
1.4 Конструкции тонкопленочных датчиков Выводы
Глава 2 Разработка конструкции и технологии изготовления газовых датчиков.
2.1 Выбор конструкции и расчет элементов топологии
2.2 Расчет конструкции газового датчика
2.3 Анализ свойств тонких пленок из Сг применительно ф к конструкции газового датчика
2.4 Исследование влияния режимов термостабилизационного отжига на свойства элементов конструкции газовых датчиков
2.5 Исследование прочности сварных соединений внутренних выводов ГС А1 МСг
2.6 Технологические схемы изготовления газовых д датчиков
стр.
стр. стр.
стр.
стр.
стр.
стр. стр. стр.
Глава 3 Тепловая модель газового сенсора
3.1 Тепловые характеристики элементов датчика стр.
3.2 Анализ тепловых потерь кристалла газового датчика стр. в статическом режиме
3.3 Расчет распределения температуры по поверхности стр. кристалла кремния.
3.4 Зависимость температуры датчика от времени стр.
3.5 Объекты и методика исследования распределения стр.
температуры по кристаллу газового сенсора 3.6 Экспериментальные исследования теплофизических стр.
свойств газовых датчиков
Выводы стр.
Глава 4 Полуавтоматический пороговый индикатор
регистрации уровней концентрации токсичных газов в окружающей атмосфере
4.1 Термообработка и газовый отклик пленок 8п стр.
4.2 Назначение и принцип действия прибора стр.
4.3 Устройство порогового индикатора стр.
4.4 Порядок работы. стр.
Выводы стр.
Заключение стр.
Список литературы