Ви є тут

Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании

Автор: 

Макаров Антон Сергеевич

Тип роботи: 

Дис. канд. техн. наук

Рік: 

2000

Артикул:

1000294669

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Технология, фазовый состав, тонкая структура и свойства фотоситаллов и алюмооксидной керамики
• Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники
• Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы
• Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС
• Разработка технологии формирования и исследование протонообменных световодных структур в конгруэнтных и легированных оксидом магния кристаллах ниобата лития
• Получение твердых растворов AllnGaPAs и InGaPSbAs на основе арсенида галлия из жидкой фазы
• Разработка активных и пассивных материалов для приборов неразрушающего контроля узлов и агрегатов АЭС
• Моделирование и получение твердых растворов InAlGaPAs на подложках GaAs и InP
• Получение высокоэффективных солнечных элементов на базе многослойных гетероструктур Al x Ga1-x As/GaAs/Ge/Si x Ge1-x /Si
• Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники