Ви є тут

Исследование нарушений структуры кремния, возникающих при химико-механическом полировании

Автор: 

Макаров Антон Сергеевич

Тип роботи: 

Дис. канд. техн. наук

Рік: 

2000

Артикул:

1000294669

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Синтез и физико-химические свойства кристаллических материалов для сенсорных устройств в системе Li2MoO4 - Li2WO4
• Получение тонких пленок Y Ba2Cu3O6+6 для устройств твердотельной электроники
• Синтез, структура и свойства кристаллов ZrO2, частично стабилизированных Y2O3
• Применение зондирующего СВЧ электромагнитного излучения для определения рекомбинационных свойств полупроводников
• Технология, свойства и применение кристаллов на основе диоксида циркония
• Получение композиционных материалов с использованием фотохромных и светоизлучающих соединений и применение многослойных структур на их основе в устройствах хранения и обработки информации
• Выращивание, электрические и магнитные свойства монокристаллов мультиферроидных фаз системы Li2CuO2-CuOx
• Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов
• Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях
• Получение профилированных монокристаллов карбида кремния методами сублимации и электрической эрозии