СОДЕРЖАНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ СОКРАЩЕНИЙ.
ВВЕДЕНИЕ.
1 АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ ТЕПЛОВОЙ УСТОЙЧИВОСТИ ПРОВОДНИКОВЫХ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ СБИС.
1.1 СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ИС.
1.2 ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НИЗКОРАЗМЕРНЫХ ОБЪЕКТОВ
1.2.1 Поверхностное плавление.
1.2.2 Изменение теплоемкости при уменьшении размеров объектов.
1.2.3 Зависимость температуры плавления от размера частиц в островковых конденсатах.
1.2.4 Изменение температуры плавления сплошных пленок.
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 1.
2. ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА И ОСОБЕННОСТИ ЕГО ПРОВЕДЕНИЯ
2.1 ПОДГОТОВКА И ВИДЫ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТОВ.
2.2 МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
2.2.1 Нанесение диэлектрических пленок
2.2.2 Нанесение плнок металлов, сплава УТаЫ и углерода
2.3 КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ ПРИ И ПОСЛЕ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК.
2.3.1 Контроль толщины напыляемых пленок с помощью кварцевого измерителя.
2.3.2 Измерение толщины пленок с помощью микроинтерферометра
Линника.
2.3.3 Методика определения толщин тонких пленок при помощи сканирующей зондовой микроскопии
2.4 МЕТОДИКА ДЛЯ ДНИ1Л КОНТРОЛЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПЛАВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ.
2.4.1 Общее описание установки для определения плавления тонких проводящих пленок.
2.4.2 Измерительный комплекс для измерения сопротивления в ходе
нагрева в вакууме.
2.4.3 Метод сканирующей или растровой микроскопии.
2.5 ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕДИ
3 НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ПЛАВЛЕНИЕ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК.
3.1 ПЛАВЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК.
3.1.1 Плавление тонких пленок меди
3.1.2 Плавление тонких пленок никеля
3.2 МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЛАВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
3.3 КИНЕТИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО ПРОЦЕССА
ПЛАВЛЕНИЯ.
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3.
4 РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ БЕСПУСТОТНОГО ЗАПОЛНЕНИЯ УЗКИХ ТРАНШЕЙ И КОНТАКТНЫХ ОКОН КОМБИНАЦИЕЙ МЕТОДОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ И НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО ПЛАВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922