ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ И ТЕНДЕНЦИЙ РАЗВИТИЯ
СЕНСОРОВ МИКРОВЛАЖНОСТИ.
Основные понятия пирометрии. Характеристики влагосодержания и
Благосостояния газов и выбор единиц измерения микровлажности
1.1. Температурные методы измерения микровлажности
1.1.1. Метод точки росы.
1.2. Сорбционные методы измерения микровлажности
1.2.1. Кулонометрический хемосорбционный метод измерения микровлажности
1.2.2. Вибросорбционный метод измерения микровлажности
1.2.3. Метод измерения влажности с помощью тонкопленочных импедансных сенсоров
1.3. Выбор метода измерения микровлажности
1.4. Выводы.
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РАЗЛИЧНЫХ ФАКТОРОВ НА АДСОРБЦИОННЫЕ СВОЙСТА ВЛАГОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СЛОЕВ ВС
2.1. Методы и оборудование, использованные при исследовании
сорбционных свойств ВС
2.1.1. Разработка методики и стенда для исследования адсорбционных свойств
2.1.2. Исследование сорбционных свойств ВС методом пьезокристаллического микровзвешивания
2.1.3. Исследование сорбционных свойств интегрального сорбционно
емкостного сенсора микровлажности ИСЕСМВ
2.2. Факторы, влияющие на сорбционные характеристики ВС ИСЕСМВ
2.3. Факторы формирования пленкообразующих растворов
2.3.1. Сущность метода гидролиза растворов
2.3.2. Материалы и методы, использованные при синтезе пленкообразующих растворов элементоорганических соединений
2.3.3. Исследование влияния состава композиций на адсорбционные свойства влагочувствитсльных слоев.
2.3.3.1.Влагочувствительные слои БЮг
2.3.3.2.Влагочувствительные слои системы БЮгАЬОз
2.3.3.3.Выбор состава влагочувствительного слоя и метода синтеза пленкообразующих растворов
2.4. Факторы формирования и обработки влагочувствительного слоя
2.4.1. Методика формирования влагочувствителыюго слоя
2.4.2. Исследование влияния процессов термообработки и гидратации на свойства влагочувствительного слоя
2.5. Факторы эксплуатации ИСЕСМВ.
2.6. Выводы
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ТОПОЛОГИИ И КОНСТРУКЦИИ ИНТЕГРАЛЬНОГО СОРБЦИОННОЕМКОСТНОГО СЕНСОРА
МИКРОВЛАЖНОСТИ.
3.1. Разработка топологии интегрального сорбционноемкостного сенсора
микровлажности.
3.2. Анализ эквивалентной схемы ИСЕСМВ и влияния топологических
параметров на его характеристики.
3.3. Выбор конструкционных материалов ИСЕСМВ.
3.3.1. Выбор материала подложки
3.3.2. Выбор материалов диэлектрического слоя и нижних электродов
3.3.3. Выбор материала влагопроницаемого электрода.
3.3.4. Выбор материала влагочувствительного слоя.
3.4. Расчет топологии ИСЕСМВ.
3.5. Разработка технологического маршрута изготовления ИСЕСМВ
3.6. Разработка технологии формирования влагопроницаемого электрода
3.7. Выводы
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМА ВЛАГОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ И ОСНОВНЫХ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ИНТЕГРАЛЬНОГО СОРБЦИОННОЕМКОСТНОГО СЕНСОРА МИКРОВЛАЖНОСТИ.
4.1. Исследование диэлектрических характеристик ИСЕСМВ.
4.2. Исследование частотных характеристик ИСЕСМВ.
4.3. Исследование градуировочных характеристик ИСЕСМВ
4.4. Исследование долговременной стабильности ИСЕСМВ.
4.5. Исследование динамических и температурных характеристик ИСЕСМВ.
4.5.1. Исследование температурных характеристик ИСЕСМВ.
4.5.2. Исследование динамических характеристик ИСЕСМВ
4.6. Исследование влияния давления на показания ИСЕСМВ
4.7. Выводы.
ГЛАВА 5. КОНСТРУКТИВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРИБОРОВ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВЛАЖНОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ГАЗОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, РАЗРАБОТАННЫХ НА ОСНОВЕ ИНТЕГРАЛЬНОГО СОРБЦИОННОЕМКОСТНОГО СЕНСОРА МИКРОВЛАЖНОСТИ.
5.1. Измерительные преобразователи
5.1.1. Датчик точки росы с частотным выходом
5.1.2. Датчик точки росы с цифровым выходом.
5.2. Гигрометр точки росы ИВА8.
5.3. Гигрометр точки росы ИВА9.
5.4. Гигрометр точки росы ИВА7.
5.5. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922