СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Особенности алмазноабразивной обработки материалов обзор.
1.1. Традиционные технологии алмазноабразивной обработки подложек для приборных пластин
1.2. Особенности обработки тонких пластин с помощью связанного алмазного инструмента .
1.3. Выводы и постановка задачи исследований
Глава 2. Разработка новых типов связанного алмазноабразивного инструмента для обработки подложек из кремния, арсенида галлия, сапфира и других материалов, используемых в качестве приборных пластин в микро
и оптоэлектронике.
2.1. Разработка алмазного инструмента на органической связке на основе эпоксидной смолы
2.1.1. Влияние компонентов связки на свойства инструмента.
2.1.2. Выбор оптимальной зернистости алмазного порошка
и его концентрации
2.2. Подбор оптимального состава связки алмазного инструмента на основе термореактивной прессовочной массы
2.3. Разработка пористого алмазного инструмента на основе
эпоксидной смолы .
Глава 3. Исследование и оптимизация технологических режимов прецизионной механической обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью новых типов связанного алмазноабразивного инструмента
3.1. Исследование влияния различных типов связанного инструмента и режимов обработки на точность и качество обрабатываемой поверхности различных материалов
3.2. Оптимизация состава смазочноохлаждающей жидкости
3.3. Исследование влияния различных типов алмазного порошка на режущую способность алмазного инструмента
Глава 4. Разработка и внедрение технологии шлифования и полирования подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью связанного алмазного инструмента
4.1. Разработка шлифовального инструмента для односторонней
обработки плоских поверхностей деталей
4.1.1. Внедрение технологии утонения приборных пластин из
кремния, арсенида галлия и сапфира
4.2. Разработка шлифовального инструмента для двусторонней обработки плоских поверхностей деталей.
Заключение.
Список литературы
- Київ+380960830922