ВВЕДЕНИЕ.
1. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ И АНАЛИЗ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ.
1.1. Аналитический обзор существующих типов датчиков, перспективные разработки
1.2. Основные методы изготовления элементов первичного преобразователя
1.3. Анализ резонатора
1.4. Анализ мембраны
1.5. Описание работы преобразователя
1.6. Механические свойства монокристалла кремния
1.7. Исследование конструкции измерительного преобразователя
1.7.1. Оценка статической характеристики измерительного преобразователя
1.7.2. Оценка влияния изменения линейных размеров резонатора
и мембраны
1.8. Выбор направления исследования и постановка задачи
1.9. Результаты и выводы
2. ИССЛЕДОВАНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ И РАЗРАБОТКА МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ.
2.1. Первоначальная математическая модель измерительного преобразователя
2.2. Оценка статической характеристики с учетом технологических допусков.
2.3. Оценка основных конструктивных характеристик
измерительного преобразователя
2.3.1. Оценка расстояния между электродами
2.3.2. Оценка толщины мембраны.
2.3.3. Оценка толщины резонатора.
2.4. Математическая модель измерительного преобразователя с учетом технологических допусков.
2.5. Математическое моделирование изменения температурного режима работы.
2.6. Математическая модель измерительного преобразователя с дополнительной зависимостью от температуры
2.7. Результаты и выводы.
3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ВНЕШНИХ ВОЗДЕЙСТВУЮЩИХ ФАКТОРОВ И РАЗРАБОТКА СПОСОБА ПОВЫШЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ .
3.1. Влияние внешних воздействующих факторов.
3.1.1. Воздействие широкополосной случайной вибрации
3.1.2. Воздействие механического удара
3.1.3. Воздействие акустического шума
3.2. Описание конструктивных особенностей резонатора.
3.3. Разработка способа повышения чувствительности.
3.4. Результаты и выводы.
4. АНАЛИЗ СУЩЕСТВУЮЩИХ МЕТОДОВ МИНИМИЗАЦИИ ТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ В СТАЦИОНАРНОМ ТЕМПЕРАТУРНОМ РЕЖИМЕ ЭКСПЛУАТАЦИИ. РАЗРАБОТКА СПОСОБОВ КОМПЕНСАЦИИ АДДИТИВНОЙ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТИ.
4.1. Обзор существующих методов минимизации температурной погрешности
4.2. Датчик с выходным сигналом в виде девиации амплитуды напряжения.
4.3. Преобразователь с частотным выходом и обратной связью по амплитуде колебаний резонатора
4.4. Преобразователь с частотным выходом и обратной связью по фазе колебаний резонатора
4.5. Преобразователь с частотным выходом и обратной связью по амплитуде колебаний резонатора и инвертирующим сумматором
в обратной связи.
4.6. Результаты и выводы.
ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА СПОСОБОВ КОМПЕНСАЦИИ МУЛЬТИПЛИКАТИВНОЙ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТИ И ОБЩЕЙ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТИ.
5.1. Датчик с выходным сигналом в виде девиации амплитуды напряжения.
5.2. Преобразователь с частотным выходом и обратной связью по амплитуде колебаний резонатора.
5.3. Преобразователь с частотным выходом и обратной связью по фазе колебаний резонатора
5.4. Разработка способа компенсации общей температурной погрешности
5.5. Результаты и выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922