Разработка нанокомпозитных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ПРЕДСТАВЛЕННЫЕ В ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПОЛУЧЕНЫ ЛИБО ЛИЧНО СОИСКАТЕЛЕМ, ЛИБО ПРИ ЕГО НЕПОСРЕДСТВЕННОМ УЧАСТИИ
ГЛАВА 1. ОБЗОР ОСНОВНЫХ СВОЙСТВ И МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ И ИХ ПОЛУЧЕНИЯ.
1.1 Общие положения.
1.2 Проектирование элементов вычислительной техники и систем управления на основе наноэлектроники.
1.3 Получение и свойства нанокомпозитов на основе пористого кремния.
1.4 Методы синтеза свойства нанокомпозитов на основе микропорошков
1.5 Другие методы получения нанокомпозитов на основе кластеров кремния и электрофизические свойства полученных структур
1.6 Применение редкоземельных элементов в квантовой электронике.
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ МЕХАИОСИНТЕЗА
2.1. Получение микропорошков кремния и фосфатных стекол.
2.2. Формирование нанокомпозитных пленок на кремниевых подложках
2.3. Исследование электрофизических свойств полученных пленок.
2.3.1. Структурные особенности пленок нанокомпозитов
2.3.2. Вольт фарадные характеристики
2.3.3. Вольт амперные характеристики.
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ
3.1 Формирование люминесцентных нанокристаллов Б встроенных в ЗБОг сверхрешетку с помощью эксимерного лазерного излучения
3.1.1 Методика эксперимента.
3.1.2 Обработка результатов эксперимента
3.2 Световая эмиссия от 8 нанокластеров нкл сформированных при низкой температуре.
3.2.1 Методика эксперимента.
3.2.2 Обработка результатов эксперимента
3.3 Контроль фотолюмииесцентных свойств кремниевых нанокристаллов с помощью легирования п и ртипа примесей
3.3.1 Методика эксперимента.
3.3.2 Обработка результатов эксперимента
3.4 Влияние размеров Бнкл на активизацию ионов Ег.
3.4.1 Методика эксперимента.
3.4.2 Обработка результатов эксперимента
ГЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ УГЛЕРОДО СОДЕРЖАЩИХ ВЕЩЕСТВ НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНИЯ
4.1 Влияние фуллеренов на фотолюминесценцию пористого кремния
4.1.1 Методика изготовления слоев рог8 и измерений
4.1.2 Обработка результатов измерений.
4.2 Обработка результатов других исследований углеродосодержащих веществ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ