ВВЕДЕНИЕ.З
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА ИССЛЕДОВАНИЙ СВОЙСТВ МДПСЕНСОРОВ.
2.1 МДПструктура и ее свойст ва.
2.2 Устройство и принцип действия МДПсснсора.
Установка для лазерного напыления пленок.
2.4 Установка для измерений вольтфарадных характеристик сенсоров.
2.5 Установка для измерений характеристик сенсоров.
2.6 Блоксхема газоанализатора.
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЯ ЯВЛЕНИЙ НЕПОСТОЯНСТВА ХАРАКТЕРИСТИК МДПСЕНСОРОВ
3.1 Непостоянство характеристик МДПсснсоров в результате их выдержки в некоторых газах.
3.2 Влияние термообработки на характеристики МДПсенсоров.
3.3 Влияние рабочей температуры сенсора на форму динамической характеристики.
3.4 Исследование явления интерференции чувствительностей МДПсенсоров.
3.5 Выводы
ГЛАВА 4. МОДЕЛЬ МЕХАНИЗМА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ МДПСЕНСОРОВ
4.1 Обзор представлений о механизме чувствительности МДПсенсоров.
4.2 Формулировка модели механизма чувствительности МДПсенсоров к концентрациям газов качественно.
4.3 Количественная формулировка модели.
4.4. Сопоставление экспериментальных фактов с моделью.
4.5 Методы стабилизации характеристик МДПсенсоров.
4.6.Выводы.
ГЛАВА 5. МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ СЕЛЕКТИВНОСТИ МДПСЕНСОРОВ.
5.1 Способ измерений концентраций этилмеркаптана и сероводорода в их смеси.
5.2 Двухканальный метод отбора газовых проб.
5.3 Повышение селективности МДПсенсоров с помощью вариации технологии их изготовления.
5.4 Выводы.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.
ПРИЛОЖЕНИЕ.
П1. Водородные газоанализаторы ВГ3.
П2. Газоанализатор сероводорода СВГ4.
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922