Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Покрытия нитрида титана структура и свойства.
1.1. Микроструктура поверхности покрытий нитрида титана
1.2. Фазовый состав и структура покрытий ПЫ
1.3. Преимущественная ориентация роста покрытий нитрида титана
1.4. Остаточные напряжения в покрытиях Т1Ы.
1.5. Твердость покрытий нитрида титана.
Выводы по главе 1
Глава 2. Получение и методы исследовании поверхностных слоев
2.1. Выбор материала и методика исследования.
2.2. Теория рассеяния рентгеновских лучей
2.3. Определение остаточных макронапряжений в тонких плнках
2.4. Определение параметров субструктуры.
2.5. Измерение микротврдости тонких пленок
Глава 3. Влияние условий конденсации ионноплазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана.
3.1. Взаимодействие ионов с поверхностью тврдого тела.
3.2. Микроструктура модифицированной поверхности.
3.3. Толщина ПИпокрытий.
3.4. Состав и структура модифицированной поверхности.
3.4.1. Покрытия, полученные в объеме вакуумной камеры
3.4.2. Покрытия, полученные вблизи катода
3.5. Остаточные напряжения и микротвердость ТПЧпокрытий.
Основные результаты и выводы
Список литературы