СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
Глава 1. СВОЙСТВА И СПОСОБЫ СИНТЕЗА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ Т, , I, , И ИХ ОКСИДОВ
1.1 Окисление металлов и сплавов. Законы роста оксидных пленок
1.2 Особенности оксидирования индия и олова.
1.3 Оксидирование титана
1.4 Оксидирование тонких пленок титана.
1.5 Оксидирование ниобия
1.6 Взаимодействия в системе I0
1.7 Оксидирование двухкомионетных гетероструктур на основе олова и
1.8 Влияние оптического излучения на оксидирование титана.
1.9 Тонкие пленки. Синтез, свойства и структура тонких пленок.
1. Выводы. Цель и задачи.
Глава 2. МЕТОДИКИ ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1 Получение топких пленок методом магнетронного напыления
2.2 Оксидирование тонких пленок в печи резистивного нагрева
2.3 Оксидирование при фотонном нагреве подложек
2.4 Лазернотермическое окисление тонких пленок
2.5 Методики исследования состава и структуры пленок.
2.5.1 Эллипсометрическоий метод
2.5.2 Рентгенофазовый анализ
2.5.3 Методика X X i
2.6. Методика рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии.
Глава 3. ОКСИДИРОВАНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ТИТАНА, НИОБИЯ И ИХ ОКСИДОВ
3.1 Термическое и лазернотермическое окисление тонких пленок гитана
3.2 Термическое окисление тонких пленок на основе титана и ниобия
3.2.1. Методика получения серий образцов.
3.2.2. Серия 1
3.2.2. Серия 2
Глава 4. ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР, СОДЕРЖАЩИХ ИНДИЙ И ОЛОВО И ИХ ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ
СПЕКТРОСКОПИИ И ДИФРАКТОМЕТРИИ
4.1. Методика получения серий образцов
4.2. Исследования гетероструктур с помощью дифрактометрии и РФЭС.
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922