Рост и структура наноразмерных ориентированных гетероструктур с ограниченной взаимной растворимостью компонентов

СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ
1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1.1. Термодинамика формирования бинарных металлических систем методом вакуумного осаждения
1.1.1. Энергетический подход для определения механизмов роста
1.1.2. Влияние диффузии в двухкомпонентных системах
на рост пленок
1.2. Кристаллогеометрический подход прогнозирования ориентации при сопряжении пленок
1.3. Изменение параметра кристаллической решетки компонентов многослойной и многокомпонентной пленки
1.4. Численные методы анализа для определения ориентационных соотношений в зависимости
от энергии межфазных границ
1.5. Полиморфные превращения при росте многослойных
и многокомпонентных пленок
2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1. Приготовление многослойных пленок СиУ
2.2. Приготовление двухкомионентных пленок с ограниченной взаимной растворимостью
2.3 Подготовка образцов для электронномикроскопических исследований
2.4 Методика анализа структуры, ориентации, субструктуры, количественного и фазового состава пленочных систем
3. СУБСТРУКТУРНЫЕ И ОРИЕНТАЦИОННЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПРИ РОСТЕ МНОГОСЛОЙНЫХ СИСТЕМ С БОЛЬШИМ НЕСООТВЕТСТВИЕМ ПАРАМЕТРОВ РЕШЕТОК НА ПРИМЕРЕ V И i СИСТЕМ
3.1. Зависимость структуры пленок от ориентации подложки
3.1.1. Пленки i и V и фторфлогопите
3.1.2. Зависимость ориентации и субструктуры двухслойных пленок V от толщины пленки ванадия на поверхности 1
3.1.3. Ориентационные соотношения при смене последовательности конденсации компонентов
3.2. Ориентационные и субструктурные изменения при
увеличении количества слоев
3.2.1. Трехслойные пленки i i и Си V Си
3.2.2. Четырехслойные пленки Си V Си V
Выводы к главе
4. ДИФФУЗИОННОЕ РАССЛОЕНИЕ ПРИ РОСТЕ ПЛЕНОК ДВУХКОМПОНЕНТНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СИСТЕМ С ОГРАНИЧЕННОЙ ВЗАИМНОЙ РАСТВОРИМОСТЬЮ КОМПОНЕНТОВ
4.1 Системы с одинаковым типом кристаллических решеток
4.1.1 Зависимость ориентации и субструктуры пленок от температуры подложки
4.1.2 Изменение параметров кристаллических решеток компонентов наноструктуры
4.2 Системы с ГЦК ОЦК и ГЦК ГПУ типами кристаллических
решеток
4.3 Модель диффузионного расслоения двухкомпонентных пленок
Выводы к главе
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
БИБЛИОГРАФИЯ