Ионно-плазменное осаждение пленок a-C: H и их свойства

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА1.СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПО ПОЛУЧЕНИЮИ ИССЛЕДОВАНИЮ СТРУКТУРЕ И СВОЙСТВ ПЛЕНОК аСН
1.1. Углерод и его модификации .
1.2. Современные методы получения пленок аСН
1.3. Исследование структуры пленок аСН.
1.4.Исследование электрофизических свойств пленок аСН .
ГЛАВА П. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ УСТАНОВОК
2.1 .Выбор методов осаждения и типа исходных соединений для получения пленок аСН
2.2.Описание установки для получения пленок аСН
магнетронным методом
2.3.Методка и аппаратура исследования электропроводимости
пленок аСН .
2.4.Описание экспериментальной установки для измерения
фотолюминесценции пленок аСН
2.5.Методика и экспериментальная установка для измерения теплопроводности аСН пленок.
Г Л АВАШ.ИСС ЛЕДОВАНИЕ СОСТАВ И СТРУКТУРА ПЛЕНОК аСН
3.1 .Исследование состава пленок аСН методом ВИМС
3.2.Исследование ближнего порядка пленок аСН методом
ИК спектроскопии
3.3 Структурное исследование ближнего порядка пленок
аСН методом электронов на отражение
ГЛАВА 1У.ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК аСН
4.1 .Оптические свойства пленок аСН.
4.2.Электрические свойства пленок аСН
4.3.Фотолюминесценции пленок аСН.
4.4.Теплопроводимость пленок аСН.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА