СОДЕРЖАНИЕ стр.
Введение
ГЛАВА I. СВОЙСТВА, ПРИМЕНЕНИЕ И ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ФОСФИДА ГАЛЛИЯ. Ю
I. Свойства и использование тонних пленок
баР обзор литературы Ю
2. Основные результаты исследований по синтезу пленок фосфида галлия на кремнии, фосфиде галлия и сапфире
2.1. Методы получения тонких пленок фосфида
галлия
2.2. Условия формирования пленок с заданными свойствами
2.2.1. Требования к поверхности роста
2.2.2. Роль остаточной среды
2.3. Очистка поверхностей подложки и источника
перед конденсацией пленок.
3. Обоснование выбора метода синтеза тонних
эпитаксиальных пленок и постановка задачи.
ГЛАВА П. ГЛЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
I. Особенности технологии метода вануумной
конденсации.
1.1. Техника вакуумной конденсации
1.2. Условия синтеза пленок фосфида галлия. . .
1.3. Устройства для нонденсации эпитаксиальных структур на основе 6аР, 3 , сапфира. .
2. Предэпитаксиальная подготовка подложек. .
2.1. Выбор материала
2.2. Подготовка источников и подложек.
2.3. Контроль температуры.
3. Создание рабочих структур
4. Электронографические, оптические и электрофизические методы измерений параметров исследуемых структур.
Основные результаты и выводы к главе П
ГЛАВА Ш. СВОЙСТВА ПРИПОВЕРХНОСТНОЙ ОБЛАСТИ КРЕМНИЯ ПОСЛЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ОБРАБОТКИ В ВЫСОКОМ ВАКУУМЕ.
I. Предэпитаксиальная подготовка поверхности и исследование электрических свойств приповерхностной области подложек. . .
1.1. Кинетика образования рслоя
1.2. Профиль концентрации элентрически активной примеси в кремнии.
1.3. Подвижность носителей заряда.
1.4. Структура и примесный состав приповерхностной области.
2. Механизм образования рслоя
3. Теоретический анализ профиля распределения
примеси
4. Применение высокотемпературной обработки
для создания приборных структур
Основные результаты и выводы к главе Ш
ГЛАВА 1У. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТОВ ПО СИНТЕЗУ ПЛЕНОК
ФОСФИДА ГАЛЛИЯ И КРЕМНИЯ.
I. Свойства барьерных структур на фосфиде
галлия.
2. Эпитаксиальные пленки, структура и свойства ИТ
2.1. Исследование переходной области III
2.2. Гомоэпитансиальные пленни фосфида галлия.
2.3. Гетероструктуры баР5 и баР
Основные результаты и выводы к главе 1У
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.
Заключение.
Литература
- Київ+380960830922