ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I
ОБЗОР ЖОСТНЫХ МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ, А ТАКЖЕ МЕТОДОВ
ЭЛЕКТР0НН0НД0В0Г0 И ОПТИЧЕСКОГО СКАНИРОВАНИЯ .
1.1 Емкостные и термостимулированные исследования
примесных центров
1.1.1 Влияние глубоких уровней на емкость рп перехода. .
1.1.2 Фотоемкостный метод . .
1.1.3 Емкостная. релаксационная спектроскопия
1.1.4 Сканирующая релаксационная спектроскопия. .
1.1.5 Процессы термостимулированной релаксации.
1.2 Растровые оптические микроскопы и их применение . . .
1.2.1 Особенности оптического сканирования.
1.2.2 Лазерные сканирующие системы.
1.2.3 РОМ на основе двух ЭЛТ.
1.2.4 РОМ с лазерной мишенью.
1.3 Изучение свойств и характеристик МДПструктур
сканирующими методами
1.3.1 Исследование МДПструктур с помощью РЭМ .
1.3.2 Исследование МДПструктур оптическими методами. . .
1.3.3 Емкостные методы определения параметров МДПструктур
ГЛАВА П
РАСТРОВАЯ ОПТИЧЕСКАЯ МИКРОСКОПИЯ НА БАЗЕ РЭМ И ЕЕ ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ ЛОКАЛЬНОЙ ДЕФЕКТОСКОПИИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ.
2.1 Свойства и характеристики катодолюминофоров
для оптического сканирования .
2.2 Устройство и возможности РОМ на базе РЭМ.
2.3 Применение РОМ для дефектоскопии МДП БИС
и ЩПструктур
ГЛАВА Ш
ИССЛЕДОВАНИЕ МДПСТРУКТУР МЕТОДАМИ РАСТРОВОЙ
ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ
3.1 Аналитический расчет режима НТ в РЭМ
применительно к МДПструктурам
3.2 Влияние воздействия электронным зондом
на параметры МДПструктур
3.2.1 Образцы и техника измерения
3.2.2 Динамические измерения в режиме НП
3.3 Локальные исследования встроенных и мобильных
неоднородностей МДПструктур.
3.3.1 Оптимизация контраста локальных дефектов
в режиме динамического НП. .
3.3.2 Термополевые исследования по ионным миграциям. . .
3.3.3 Эффект памяти в МДПструктуре при микрозаписи электронным зондом
ГЛАВА 1У
ЛОКАЛЬНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПРИМЕСНЫХ УРОВНЕЙ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР В РЭМ.
4.1 Механизм формирования и информативность емкостного
контраста при отображении рп переходов
4.1.1 Изменение барьерной емкости при облучении электронным зондом .
4.1.2 Изменение диффузионной емкости при облучении электронным зондом .
4.2 Способы и аппаратура для получения емкостного
контраста в РЭМ
4.2.1 Формирование изображения в Сконтрасте
с помощью мостовой схемы .
4.2.2 Метод частотной модуляции.
4.2.3 Изображение рп переходов в Сконтрасте.
4.3 Исследование рп переходов в режимах НТ и НП
при низких температурах
4.4 Локальная спектроскопия на основе регистрации
наведенного и термостимулированного токов в РЖ. . .
4.4.1 Теория
4.4.2 Экспериментальные результаты
ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922