ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1. Структура карбида кремния .
1.2. Структурные исследования карбида
кремния
1.2.1. Методы исследований .
1.2.2. Ростовые дефекты .
1.2.3. Структурные особенности фазовых превращений в карбиде кремния . ЗА
1.2.А. Пластическая деформация в ЗС .
1.3. Постановка задачи А
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИХ
ИССЛЕДОВАНИЙ .
2.1. Препарирование образцов керамических
материалов для исследования методами просвечивающей электронной микроскопии . А
2.2. Методики исследования структурных
дефектов
ГЛАВА 3. ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ РОСТОВЫХ ДЕФЕКТОВ В 7А
3.1. Дефекты в эпитаксиальных монокристал
лических слоях i . выращенных из паровой фазы . 7А
3.1.1. Дефекты на границе подложка эпитаксиальный слой 7А
3.1.2. Дефекты в объеме эпитаксиальных
3.1.3. Особенности распределения дефектов в
эпитаксиальных слоях ЗС . ЮО
3.2. Особенности реальной структуры монокристаллов, выращенных методами Лели
и разложением метилтрихлорсилана .
3.3. Выводы к главе 3 .
ГЛАВА 4. ИЗМЕНЕНИЯ РЕАЛЬНОЙ СТРУКТУРЫ
КРИСТАЛЛОВ ПРИ ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЯХ
4.1. Твердотельный фазовый переход
ЗС 6Н i .
4.2. Фазовое превращение 6Н ЗС i
4.3. Фазовое превращение в .
4.3.1. Исследование структуры кристаллов , выращенных из расплава и
паровой фазы
4.3.2. Перестройка реальной структуры
кристаллов природного при твердотельном фазовом превращении
4.4. Механизмы фазовых превращений
4.5. Выводы к главе 4 .
ГЛАВА 5. ДИСЛОКАЦИОННАЯ СТРУКТУРА КРИСТАЛЛОВ
i И ПОСЛЕ ПЛАСТИЧЕСКОЙ ДЕФОРМАЦИИ
5.1. Высокотемпературная пластическая
деформация i
5.2. Проявление микропластичности в i
вблизи концентраторов напряжений
5.3. Движение дислокаций в ЯС , активируемое электронным облучением
5.3.1. Атермический характер процесса
5.3.2. Особенности движения дислокаций
5.А. Структурные изменения в АМ при
трении
5.5. Выводы к главе 5
ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922