Спектроскопическое исследование фторуглеродной плазмы

Оглавление
Введение .
1. Низкотемпературная фторуглеродная плазма и
спектроскопические методы ее диагностики.
1.1. Фторуглеродная плазма как частный случай
плазмы с химическими реакция.
1.2 Методы диагностики плазмы
1.3 Спектральнооптические методы диагностики
плазмы с химически реакциями.
1.4 Диагностика фторуглеродной плазглы.
2. Экспериментальное исследование спектров фторуглеродной плазмы.
2.1 Экспериментальная установка
2.2 Спектр фторуглеродной плазмы.
2.3 Методика отождествления спектров на примере радикалов СМ И 2
2.4 Термодинамический расчет состава плазмы
2.5 Оценка ошибок, возникающих при спектроскопических измерениях.
3. Экспериментальное определение температуры
неравновесной фторуглеродной плазмы
3.1 Определение вращательной температуры.
3.1.1 Использование эмиссионных спектров Сг и СЫ
для определения врацательной температуры
3.1.2 Аномалии в спектрах 2 и
3.2 Определение колебательной температуры
плазглы
3.2.1 Эмиссионные спектры с2 и СМ и их
использование для определения колебательной температуры частиц
3.2.2 Аномалии в колебательной структуре
спектров радикалов 0 и СМ и их причины
3.3 Определение электронной температуры плазмы
и связанные с этим трудности.
3.4 Определение поступательной температуры.
4. Отождествление спектра фторуглеродной плазмы.
4.1 Эмиссионный спектр
4.2 Эмиссионные спектры радикалов и .
Литература