ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ОСОБЕННОСТИ СТРУКТУРЫ ОБЪЕМНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИСУЛЬФИДА МОЛИБДЕНА И УГЛЕРОДА
1.1 Равновесные и метастабшгьные модификации дисульфида молибдена и углерода.
1.2 Структура пленок дисульфида молибдена и углерода, формируемых физическим вакуумным осаждением .
1.3 Основные физические процессы, протекающие при низко и средне энергетическом ионном облучении пленок
1.4 Особенности метода лазерного импульсного осаждений пленок
1.5 Вывода по обзору литературы и постановка задачи
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНОК И
МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ИХ ХАРАКТЕРИСТИК
2.1. Экспериментальная установка и метода формирования пленок.
2.2. Методики исследования сформированных поверхностных структур
ГЛАВА 3. СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК МоБх, ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО ИМПУЛЬСНОГО ОСАЖДЕНИЯ В ВЫСОКОМ ВАКУУМЕ
3.1. Влияние плотности энергии лазерного излучения
на скорость осаждения и состав пленок
3.2. Времяпролетные спектры ионов лазерной
плазмы МоБ2.
3.3. Зависимость состава пленок МоЗх от скорости осаждения
3.4. Влияние температуры подложки на состав пленок
3.5. Микроструктура пленок .
3.6. Трибологические свойства
3.7. Химическое состояние элементов.
3.8. Исследование процессов распыления пленок МоБх ионами лазерной плазмы.
3.9. Обсуждение результатов по лазерному импульсному осаждению пленок в высоком вакууме.
3 Выводы
ГЛАВА 4. СТРУКТУРБРАВАНИЕ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК МоБх
ПРИ ЛАЗЕРНОМ ИМПУЛЬСНОМ ОСАЖДЕНИИ В АТМОСФЕРЕ БУФЕРНОГО ГАЗА.
4.1. Влияние давления аргона на скорость осаждения
и элементный состав пленок МоБ
4.2. Микроструктура пленок.
4.3. Трибологические свойства .
4.4. Химическое состояние элементов .
4.5. Времялролетные спектры ионов лазерной плазмы
МоБг при ее разлете в буферный газ .
4.6. Моделирование процесса лазерного
осаждения в газе.
4.7. Обсуждение полученных результатов для пленок МоБх, сформированных в буферном газе.
4.8. Выводы.
ГЛАВА 5. ИОННОЕ ПЕРЕМЕШИВАНИЕ АТОМОВ И ФОРМИРОВАНИЕ
ХИМИЧЕСКИХ СВЯЗЕЙ НА ГРАНИЦЕ ПЛЕНОК МоББе
5.1. Средне энергетическое ионное облучение
пленок МоБ
5.2 Ионностимулированное перераспределение элементов
на границе пленок МоБхГе.
5.3 Структуро и фазообразование на границе МоБкГе
5.4. Обсуждение полученных результатов .
5.5. Вывода
ГЛАВА 6. СРЕДНЕЭНЕРГЕТИЧЕСКОЕ ИОННОЕ ОБЛУЧЕНИЕ АМОРФНЫХ
УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ.
6.1. Влияние средне энергетического ионного облучения
на микроструктуру и оптические свойства аС пленок
6.2. Механические свойства аС пленок.
6.3. Обсуждение полученных результатов .
6.4. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922