Поверхностная сегрегация фосфора, сурьмы, мышьяка и галлия в монокристаллах кремния и германия

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. Поверхностная сегрегация металлов в полупроводниках
1.1 Теории поверхностной сегрегации
1.2. Экспериментальные исследования адсорбции и сегрегации металлов на поверхности кремния и германия
1.3 Влияние поверхностной сегрегации примсссй на поверхностные свойства полупроводников
Заключение по 1й главе и постановка задачи диссертационной работы
2. Аппарату ра и методика исследований методами электронной и вторичноионный массспектрометрии
2.1 Электронный спектрометр иоверхноеш
2.2 Вторичноионный массспектрометр
2.3 Приготовление образцов и количественный анализ поверхности
3. Поверхностная сегрегация фосфора, сурьмы, мышьяка и галлия в твердых растворах на основе кремния и германия
3.1 Результаты исследований методами ЭОС и ВИМС поверхностной сегрегации примесей в образцах КЭФ0.3 1, КЭС0. 1, КЭМ0.3 1, ГЭФ0.1, ГЭС0. 1 и ГДГ0.1 1 методами ЭОС и ВИМС
3.2 О корреляции температурных зависимостей состава поверхности и удельного поверхностною сопротивления на грани 1 КЭФ0.3, КЭС0. и ГЭС0.
3.3 Резонансное упругое рассеяние РУРМЭП и характеристические потери ХПЭЭ медленных электронов на поверхности
4. Теоретическое описание зависимости от температуры состава
поверхности и поверхностного натяжения кремния, легирован 5 ного Р, 8Ь и Ав
4.1 Термодинамическая теория поверхностной сегрегации легирующей примеси донорного типа в монокристаллах элементарных полупроводников
4.2 Определение коэффициента диффузии и энергии активации в поверхностном слое
4.3 Расчет термодинамических характеристик поверхности легированного кремния
4.4 О влиянии заряда на поверхности на распределение примеси
в полуограниченном полупроводниковом кристалле
Выводы по 4й главе
легированного кремния и германия Выводы но третьей главе
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ ЛИТЕРАТУРА
Введение
Актуальность