Фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N

СОДЕРЖАНИЕ
Введение и постановка задачи.
Глава. Литературный обзор.
1.1. Технологические параметры и формирование фаз нитридов металлов
1.2. Структура и магнитные свойства пленок нитридов металлов
1.3. Влияние легирующих добавок на образование нитридов.
Глава 2. Получение и исследование пленок и .
2.1. Метод реактивного магнеронного распыления.
2.2. Измерение магнитных характеристик
2.3. Исследование структуры и фазового состава пленок с помощью
электронного микроскопа
2.3.1. Лоренцева электронная микроскопия.
2.4. Определение скорости осаждения пленок
Глава 3. Структу ра, фазовый состав и магнитные свойства пленок .
3.1. Определение оптимального давления рабочего газа при осаждении
пленок
3.2. Влияние концентрации азота к давления рабочего аза на свойства
пленок , осажденных при комнатной температуре
3.2.1. Фазовый состав и магнитные параметры пленок с разным содержанием азота в смеси рабочего газа 2 2,34 , Т, С
3.2.2. Состав и свойства пленок , осажденных при С, Сц т ат. при разном давлении рабочего газа.
3.3. Влияние температуры подложки на фазовый состав и магнитные свойства
пленок ат., 2 4
3.3.1. Фазовый состав и магнитные параметры пленок , осажденных
на горячие подложки
3.3.2. Влияние концентрации азота на фазовый состав и магнитные свойства пленок , осажденных при Рдтчг 4 , 0 С6
3.3.3. Влияние давления рабочего газа на фазовый состав и магнитные свойства пленок с ат., осажденных при Т, 0 С.
3.4. Фазовый состав и магнитные свойства пленок , осажденных на горячие
подложки при Рлг 84
3.5. Доменная структура пленок .
3.6. Выводы.
Глава 4. Магнитные свойства отожженных пленок .
4.1. Изотермический отжиг пленок .
4.2. Термомагнитная обработка пленок .
4.3. Выводы.
Глава 5. Трсхслойныс пленки .
5.1. Магнитные свойства трехслойных пленок .
5.2. Зависимость магнитных параметров трехслойных пленок от концентрации
5.3. Выводы
Заключение
Список литературы