Оглавление
Оглавление.
Введение.
1. Глава I. Методы исследования и синтеза тонких слоев на поверхности твердых тел.
1.1. Физические принципы спектроскопии отражения рентгеновских лучей.
1.1.1. Оптические функции вещества
1.1.2. Ближняя тонкая структура спектров поглощения БТС РСП
1.1.3. Глубина формирования отраженного излучения.
1.1.4. Расчет спектральных зависимостей оптических постоянных
на основе экспериментальных спектров отражения
1.1.5. Влияние микрорельефа поверхности на спектры отражения
1.2. Физические принципы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий X.
1.2.1. Механизмы формирования фотоэлектронных спектров
1.2.2. Глубина формирования фотоэлектронных спектров
1.3. Основные методы синтеза тонких пленок
1.3.1. Метод молекулярного наслаивания
1.3.2. Метод осаждения металлорганических соединений из газообразной фазы V
1.3.3. Метод магиетронного напыления
2. Глава II. Техника и методика эксперимента
2.1. Спектрометрмонохроматор ультрамягкого рентгеновского
излучения РСМ0.
2.2. Экспериментальная станция .
2.3. Экспериментальная станция Н1КЕ.
2.4. Характеризация образцов.
3. Глава III. Анализ полученных экспериментальных данных
3.1. Уточнение критерея выбора экстраполяции экспериментального спектра в случае тяжелых металлов. Расчет спектральных зависимостей оптических постоянных НЮг на основе
экспериментальных спектров отражения.
3.2. Изучение атомного строения и структуры тонких пленок методом рентгеновской спектроскопии отражения
3.2.1. СлоиНЮгЭ
3.2.1.1. Влияние толщины слоя на ее микроструктуру
3.2.1.2. Влияние метода синтеза на микроструктуру пленки
3.2.2. СлоиТЮг.
3.2.2.1. Влияние толщины пленки на ее микроструктуру
3.2.2.2. Изучение однородности пленки
3.2.3. Слои А
3.2.3.1. Изучение однородности и межфазовой границы пленки
методами рентгеновской спектроскопии отражения.
3.2.3.2. Изучение межфазовой границы пленки методом
эмиссионной спектроскопии
3.3. Изучение состава и строения скрытых межфазовых границ, методом фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий НАХРНЗ
3.3.1. Изучение межфазовой границы в системах НЮг Б1.
3.3.2. Многослойные структуры ТЮгБЮгБ и
Результаты и выводы.
Литература
- Київ+380960830922